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技术文章
摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势,迅速成为工业测量的热门传感器,在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C4000F光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精...
2023-11-21
与球面光学元件相比,非球面光学元件在实际应用中具有很多优势,不仅可以简化系统形状和降低系统成本,而且能够减小系统像差,从而提高光学系统成像质量。非球面技术已成为现代光学系统设计的一个重要特征,广泛应用于国防、空间科学、天文学和重要工业领域。它已经成为光学成像领域发展的重点,并对非球面的超高精度加工和检测精度提出了更高的要求。加工-测量-再加工-再测量是非球面加工的必要过程。非球面透镜的高精度...
2023-02-22
导读风洞测试中对机翼翼型的二维测量,是众多空气动力学应用中模型预测的关键技术。这类测试中,一般需要测量翼型在不同的受风角度下的受力和俯仰力矩,受风角度(攻角)的细微变化能够造成力和力矩的大幅变动,因此,对攻角的精确测量是这类测试中的主要技术需求。本研究在风洞中采用了多个激光位移传感器,通过测量风洞壁与机翼之间的距离来精确计算模型的位置。测量结果表明了该技术能够测得以往无法得到的模型变形和偏转...
2021-12-10
摘要:管道是气体和液体传输的重要手段,管道内表面的检测对于工业和国防中管道泄漏事故的预防,减少环境污染和经济损失非常重要。随着电子和半导体技术的发展,光电器件逐步趋于小型化。介绍了基于激光阵列、PSD光电检测、光环截面以及结构光检测等光电检测方法的测量原理和系统构成,并在此基础上对不同光电检测方法的优缺点进行了分析和比较。分析结果表明:光电检测技术适用于管道内表面检测;并朝着快速识别缺陷、管...
2021-11-15
提要:介绍了工程中用激光光学方法检测柱状结构内尺寸参数的新进展。对各种方法的适用场合和精度作了分析比较。并提出了一种检测高精度航空航天器MJ内螺纹的新型激光光纤传感器的设计思想及检测原理。 关键词:内尺寸,激光,光学检测,光纤传感器 对柱状内尺寸的检测(如管道、盲孔、内螺纹等),由于内部空间的限制,需要对测量头的结构大小提出严格的要求,还需要系统有较高的对中定位精度。尤其是对微小内尺寸的检测...
2021-11-12
图4靶丸内外表面轮廓的白光共焦光谱测量曲线4.2内表面轮廓测量数据的可靠性验证图5靶丸外表面轮廓(a)及其功率谱曲线(b)采用对比测试方法,首先对基于白光共焦光谱技术的靶丸外表面轮廓测量精度进行了考核,图5(a)是靶丸外表面轮廓的原子力显微镜轮廓仪和白光共焦光谱轮廓仪的测量曲线。
2021-11-08
摘要:圆筒内壁的圆度检测工作环境恶劣,检测要求严格,目前缺乏合适的解决方案。因此对其研究将促进圆筒内壁圆度误差检测的机械化自动化水平,提高产品质量,降低生产成本,加快生产速度,系统采用改进的激光三角测距法作为测量方法,既能在高温环境下工作,又可对小径圆筒进行测量。而机器视觉是用机器代替人眼来做测量和判断,测量精度高、速度快。将二者相结合,可有效解决圆筒内壁高质量、高速度的在线检测难题。 关键...
2021-11-05
摘要:介绍了光谱共焦位移传感器的结构与原理,及其在测量厚度方面的应用,重点讨论了光谱共焦位移传感器用于测量透明材料平行平板厚度的可行性,对其产生的误差进行了详细的分析,并给出了相应的补偿方法。 关键词:光谱共焦;位移传感器;色散系数 1     引    言目前,非接触式的精密测量位移装置有共焦位移传感器,激光三角反射式位移传感器、电容式传感器、电感式传感器等。它们具有适应性强、速度快、精...
2021-10-27
[摘要]基于光谱共焦测量技术搭建了叶尖间隙模拟测试平台,将模拟叶盘安装在气浮主轴上,并应用光谱共焦位移传感器实现了叶尖端面的位移变化量的测量,以表征叶尖间隙的变化,分别模拟了叶尖间隙的单次测量和连续测量过程。实验结果表明,应用光谱共焦位移传感器可以完成发动机转子叶尖间隙的测量,而且能够达到很高的测量效率和精度,可以应用于实际的测量现场。 [关键词]叶尖间隙;非接触;光谱共焦;测量 引言随着科...
2021-10-22
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摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势,迅速成为工业测量的热门传感器,在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言上期文章介绍测量双凹透镜的重复性,本次测量弯月透镜的重复性,因为镜片的材质形状厚度不一样验证探头是否能有效稳定的测量。测量要求和方法跟测...
2024-05-15
摘要:激光三角测距器作为一种非接触、高精度的检测仪器,其工作环境、安装方式、测量条件等因素对测量精度的影响限制了其在石油管螺纹测量领域的应用。针对这一问题,本文结合实际螺纹测量情况,通过大量实验探究滤波方式、测距器移动速度、方向、反射镜面积等因素对测量数据廓型的影响,分析产生误差的机理,并确定出合理的测量方案,为螺纹在机测量系统的设计提供了理论和实验依据。关键词:螺纹检测;激光三角测距器;测...
2024-04-03
摘要:圆锥螺纹作为一种连接紧密,气密性良好的连接螺纹,其具有装配容易,能得到过盈配合,保证良好密封效果的优点。随着其设计和加工水平的提高,对锥螺纹测量的准确度也提出了更高的要求,激光测量保证锥螺纹的轴心与激光运行轨迹共面一直是测量的难点,本文对圆锥螺纹测量方法进行探究,设计了一种锥螺纹检测装置,可实现圆锥螺纹的准确定心并通过激光实现非接触检测,通过对测量结果进行分析拟合,与标准轮廓进行对比,...
2024-03-27
摘要:针对空间孔系的快速测量问题.提出了一种基于激光位移检测原理的解决方案.设计了一套空间异位孔的测量系统,构建了基于激光位移传感器的测量数学模型,采用改进的遗传算法快速拟合出空间孔的曲面轮廓。在比较测量的基础上.通过坐标变换获得零件上空间异位孔的位置与内径信息。通过搭建空间异位孔测量系统进行试验。验证该系统的可行性。关键词:空间孔系;快速测量;嵌入式Linux;遗传算法;激光三角法0 引言...
2024-03-07
摘要:激光三角法测量原理可有效应用于三维曲面的非接触精密测量,测量数据的统计处理结果直接关系到测量精度的提高,同时也与测量系统结构、被测物体特性及环境条件等因素有关。从激光三角法的测量机理出发,针对易拉罐罐盖开启口压痕残余厚度测量中影响测量的关键问题进行分析和研究,包括激光光点尺寸、激光散斑、精细结构、被测物体表面的光泽、颜色等,其中前三个问题对测量精度的影响最为突出,通过理论分析和研究,初...
2024-02-02
摘要:厚度是人造板重要参数之一,随着人造板工业的高速发展,对人造板厚度的测量精度和检测方法也提出了更高的要求。采用上下2台激光传感器对人造板厚度进行了静态和动态非接触测量试验研究,提出了上下2激光传感器间距的标定方法,认为人造板厚度激光非接触测量是完全可行的。在被测板材静止状态下,激光检测厚度与板材厚度实际值之间误差非常小;在板材移动状态下,可以实时得到板材激光检测厚度值。关键词:人造板厚度...
2024-01-17
“狭缝涂布机(狭缝式涂布设备)”通过带状喷嘴(狭缝喷嘴)吐出涂液,被用于玻璃印刷电路板、树脂印刷电路板、薄膜、金属箔等的均匀涂布。液晶显示器的制造工序、半导体领域的“面板级扇出型封装技术(FOPLP)”等用途,均要求高精度涂布。因此,一旦作为吐出部的狭缝喷嘴的左右缝隙存在些许差异,就会直接导致涂布缺陷及不良品的产生。创视智能光谱共焦"TS-C系列"的传感头实现了很大程度上的小型轻量化。还避免...
2023-12-27
摘要:为了精确测量自支撑金属薄膜厚度及其厚度分布,提出了基于白光共焦光谱传感器的金属薄膜厚度测量技术。介绍了该技术的测量原理及系统结构,研究了系统的测量不确定度。利用相向对顶安装的白光共焦传感器组、精密位移平台并结合自制的薄膜厚度校准样品。实现了对厚度为10~100μm的自支撑金属薄膜的厚度及厚度分布的精确测量;通过研究系统的传感器测量不确定度、薄膜厚度校准样品不确定度、上下传感器安装误差及...
2023-12-11
0 引言激光具有单向性好、亮度高、能量集中且稳定的特性,被广泛应用于精密测量领域。基于激光的非接触测量方法有干涉法、脉冲法、相位法和三角法。干涉法利用反射条纹的明暗变化测量距离,精度高( 可达nm量级) ,但仅适用于微距离测量。脉冲法对测量时技术及电子元器件要求较高,且测量误差较大( 精度m级) ,仅适用于大场景测量。相位法利用激光往返相位差计算测量距离,适用于中距离测量( 精度mm级) 。...
2023-11-23
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摘要:基于PSD(Position sensing device-位置敏感传感器)和激光三角法检测感应式电能表转盘的跳动误差是一种可用在电能表生产企业进行非接触、高精度、自动测量的新方法。本文重点阐述了转盘跳动测量的原理,并对其测量过程进行了分析,对影响测量精度的因素做了讨论。同时给出了测量仪器的软、硬件设计框图。并结合实际应用,介绍了该测量仪器在测量过程中的定标和定位方法。关键词:PSD;...
2024-04-15
摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势,迅速成为工业测量的热门传感器,在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C10000光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精...
2023-11-10
一、引言玻璃基板翘曲测量在光学、微电子、平面显示等领域具有重要应用价值。翘曲度是衡量玻璃基板质量的关键指标之一,对于保证产品的稳定性和可靠性至关重要。激光位移传感器作为一种非接触式测量技术,具有高精度、高速度和高效率等优势,在玻璃基板翘曲测量中具有广泛的应用前景。本文将介绍激光位移传感器测量玻璃基板翘曲的原理、实验方法和结果分析,以期为相关领域的研究提供有益参考。玻璃基板封装二、原理分析激光...
2023-11-03
光谱共焦是一种综合了光学成像和光谱分析技术的高精度位移传感器,在3C(计算机、通信和消费电子)电子行业中应用极为广泛。以下是光谱共焦传感器在3C电子行业中的应用场景:智能手机:光谱共焦传感器可以用于智能手机内线性马达的位移测量,通过实时监控和控制线性马达的位移,可大幅提高智能手机的定位功能和相机的成像精度。也能测量手机屏的曲面角度、厚度等平板电脑:平板电脑内各种移动结构部件的位移和振动检测是...
2023-06-21
摘 要 :为了实现非接触方式测量冰箱压缩机结构变形与振动,用一套激光三角传感器搭建的位移测试系统。相比传统的千分表机械探头测试方法, 该激光位移测试系统有诸多优势,第一是非接触;第二是可以测试结构振动;第三是可以通过软件实时记录并分析数据。选取冰箱用往复式压缩机的缸盖与连杆大头位移、吸气阀片振动为验证对象,通过激光传感器测试系统、千分表、有限元仿真三种方法进行相互对比验证,结果显示三者数据基...
2022-11-30
摘要:在液晶玻璃生产过程中,采用激光测厚技术不仅可以大幅度提高玻璃基板品质厚度的测量频率,实现每片基板玻璃厚度一次测量;同时也能反映玻璃基板品质厚度实时的真实性,加快厚度异常对策效率,而且能有力的推动我国光电产业技术及玻璃基板品质的提升。以玻璃基板厚度为研究对象,对激光测厚系统在液晶玻璃基板中的应用进行分析。 关键词:液晶基板、玻璃厚度、激光测厚、品质提升 0     引言液晶玻璃基板品质管...
2022-04-14
摘要:介绍了光谱共焦位移传感器的结构与原理,及其在测量厚度方面的应用,重点讨论了光谱共焦位移传感器用于测量透明材料平行平板厚度的可行性,对其产生的误差进行了详细的分析,并给出了相应的补偿方法。关键词:光谱共焦;位移传感器;色散系数 1   引言目前,非接触式的精密测量位移装置有共焦位移传感器,激光三角法位移传感器、电容式传感器、电感式传感器等。它们具有适应性强、速度快、精度高等特点,适用于检...
2022-03-28
随着社会不断的发展,我们智能能设备的进化日新月异,人们已经越来越追求个性化。愈发复杂的形状意味着,对点胶设备提出更高的要求,需要应对更高的点胶精度!更灵活的点胶角度!TS-C系列光谱共焦位移传感器系列具备同轴高精度测量的特点,即使在狭窄空间,也不会产生光路干涉,能够准确测量手机结构件中胶粘剂的涂胶量目前手机中板和屏幕模组贴合时,需要在中板上面点一圈透明的UV胶,这种胶由于白色反光的原因,只能...
2022-03-16
“制造PCB时需要极高的生产速度和高精度,因此,激光三角位移传感器可被用于拾放生产线中。它们在微米范围内进行可靠的质量监测。在PCB生产中,他们检查集成组件的位置并测量PCB面板的划线。”极其紧凑的设计、高性能和可靠的信号调整与变化的表面是激光三角测量传感器的最重要特征,可确保高精度的测量结果。检查生产线中高度集成组件位置的传感器必须克服一系列挑战。主要是由于极小的组件而要求小直径焦点,由于...
2022-03-08
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摘要:针对车桥减速器桥壳轴承孔的同轴度检测问题,设计了一种基于二维激光位移传感器的同轴度检测装置。该装置通过二维激光位移传感器在孔内旋转一周进行测量数据采集,并利用编码器实现了采集过程的闭环控制,采用该装置可提高数据采集效率。为了进行同轴度计算,提出一种针对三维点云数据的最小二乘迭代法。首先,将采集到的角度、径向距离转换成三维坐标的点云数据形式。接着,以残差最小为优化目标,利用高斯一牛顿迭代...
2023-12-19
摘要:本文在介绍激光位移传感器测距工作原理的基础上,详细介绍它在轮胎工业中的应用实例及影响测量精度工业现场的应用条件。关键词:激光位移传感器;轮胎参数;在线测量;1 引言随着对轮胎质量愈来愈严格的要求,轮胎制造厂家迫切需要采样速度快、测量距离远、重复精度高的测量传感器和检测装置,这些传感器和装置可以离线或在线测量,尽可能减少停机时间,提高生产效率并可以最大程度地避免错误判断的发生。苏州创视智...
2023-12-14
采用TS-LTP系列激光位移传感器在冲压前检测胚料的重叠,可有效预防金属模的破损。即使各批产品的表面状态不同,也可通过光量自动增益控制实现稳定检测。
2021-07-09
冲压的冲程运动可能会导致拉伸成型无法顺利进行,从而产生裂缝。通过使用TS-LTP系列激光位移传感器的长距离型号,可有效缩短调试时间。
2021-07-09
通过加宽激光光点,TS-LTP系列激光三角位移传感器可抑制表面粗糙度引起的测量值的变化,实现稳定测量。
2021-07-09
通过测量进给杆或导轨的磨损和晃动,可优化设备更新的周期。使用TS-LTP系列非接触激光位移传感器,可在不停止设备的状态下进行设定。
2021-07-09
通过高动态光量增益控制算法,TS-LTP系列激光三角位移传感器即使在倾斜的暗色物体上也可以进行稳定的测量。
2021-07-09
借助TS-LTP系列激光位移传感器同时多点测量功能,可即时检测空气悬挂性能。
2021-07-09
积层马达磁心的性能因积层的层数而异。通过在铆接前采用TS-C系列光谱共焦传感器在线测量厚度,可确认是否已切实安装了规定张数,有效防止不良品流出。
2021-07-09
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摘要:钢板的高精度自动测厚是提高轧钢质量的关键环节。针对传统射线测厚仪存在辐射、接触式测厚仪精度低的缺点,设计了采用激光来替代传统射线的非接触式在线测厚系统,提高了生产过程的安全性,同时提高了测量精度。首先介绍了激光位移传感器差动式测量方法,然后基于TMS320F2812核心芯片设计了测厚系统的硬件电路,最后进行了系统软件部分的设计,主要是TMS320F2812核心芯片对于采样数据的处理。实...
2024-06-03
摘要:介绍了白光光谱共焦进行表面光学定位的原理和同轴共轭对称的自支撑金属薄膜厚度测量系统,通过对标准台阶高度和标准量块厚度的测量试验,以及测量结果不确定度的分析,验证该薄膜厚度测量系统的准确性和可靠性,在300μm的厚度范围内系统相对测量不确定度达到0.99%,满足薄膜厚度高精度测量和量值溯源的技术要求。关键词:计量学;自支撑薄膜;光谱共焦;薄膜厚度1 概述近年来,随着我国半导体、电子、通讯...
2024-01-12
摘要:为了精确测量自支撑金属薄膜厚度及其厚度分布,提出了基于白光共焦光谱传感器的金属薄膜厚度测量技术。介绍了该技术的测量原理及系统结构,研究了系统的测量不确定度。利用相向对顶安装的白光共焦传感器组、精密位移平台并结合自制的薄膜厚度校准样品。实现了对厚度为10~100μm的自支撑金属薄膜的厚度及厚度分布的精确测量;通过研究系统的传感器测量不确定度、薄膜厚度校准样品不确定度、上下传感器安装误差及...
2023-12-11
摘要:为提高内径检测精度和效率,提出一种基于激光三角法测量原理的内径非接触精密测量方法,单次测量可实现多个径向方向半径的测量。根据此测量方法,构建数学模型,通过数学模型分析,在同等条件下比较单一方向和多方向的 测量误差。同时在最终测量精度一致的前提下,分析比较单一方向和多方向对定位误差的要求。结果证明增加测量单元的数量,可降低对系统装配和定位精度的要求,显著提高系统测量精度。关键词:多方向;...
2022-12-09
摘要:介绍了一种零件表面粗糙度的激光在线测量方法,该测量方法具有测量速度快且能够显示被测表面的具体形貌等优点,在测量中引入激光三角测量系统,用无衍射激光光束作光源,用高精度的摄像机作位移传感器,通过计算机数据处理得到表面粗糙度值,使表面粗糙度在线检测成为可能。关键词:表面粗糙度;He-Ne激光器;摄像机;激光三角法 1     引言表面粗糙度误差又称为微观几何形状误差,是机械零件的一个主要几...
2022-04-27
摘要:为了精确测量薄板类材料的厚度,分析了双光路激光三角法测厚原理,建立了一种单镜头激光三角法厚度测量系统。该系统以半导体激光器为光源,配以单镜头成像系统、图像采集与数据处理系统。描述了系统的检测原理、检测方法和实验装置,讨论了激光器光束轴心线与成像透镜光轴夹角与系统分辨率的关系,并基于最小二乘法拟合得出了光斑距离与被测物厚度的函数关系式,最后通过标定实验对系统精度进行了实验论证。结果表明,...
2022-03-30
摘要:设计了一套基于激光三角测量原理的锥管螺纹轮廓测量系统,以非接触扫描的测量方法实现螺纹轮廓的自动测量。系统以ADuC845单片机为核心,采用激光三角位移传感器、精密丝杠和编码器分别获取螺纹垂直(Y轴)和水平(X轴)方向的原始数据,进而得到螺纹轮廓的坐标值。对数据进行相应的滤波和处理后综合得到螺纹轮廓,通过参数的算法模型得出螺纹的牙高、螺距和锥角等参数。关键词:激光三角法;锥管螺纹;轮廓测...
2022-03-24
导读激光金属沉积(LMD)增材制造过程中的沉积厚度对加工质量有明显的影响,本文采用了一种同轴激光三角法测量的方法实现了对沉积高度的在位测量。背景目前,增材制造在包括航天和生物医学的众多科研和工业领域得到广泛应用。其中一项技术,激光金属沉积(LMD)技术采用一束高能激光束,将同轴喷嘴中出射的金属粉末融化,沉积并实现层层堆叠则可以实现三维金属结构的制造。为了控制这个技术过程的生产质量,需要对激光...
2021-09-08
使用传统的X射线仪测量厚度时,测量值会因密度或组成的不同而发生变化。TS-LTP系列能可靠地同步测量不同的厚度,自动光量控制功能能够忽略表面颜色的变化而稳定的测量厚度。
2021-07-09
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摘要:为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量,对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件的特性,根据其柔软、透明的特征提出应用光干涉法和机械探针相结合的方法进行测量,同时阐明了使用此方法进行表面形貌测量的优点,并据此原理搭建了光学多探针表面形貌测量装置,光学测量部分采用白光干涉计,探针部分采用拥有 8 只球型探头的多点悬臂测量探针。然后应用此装置对标准刻槽试件和半透明光造型薄...
2024-02-21
摘要:光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势,迅速成为工业测量的热门传感器,在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C400光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精度,±...
2023-11-23
0 引言上篇介绍了太阳能光伏硅片厚度的测量方法,本次介绍硅片栅线的厚度测量方法我们还用创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器,TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度,±0.02% of F.S.的线性精度,10kHz的测量速度,以及±60°的测量角度,能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网、模拟量的数据...
2023-01-05
摘要:在中国制造 2025 的大背景下,随着智能制造与装备、高新精密加工及工业物联网技术的发展,对非接触精密测量的要求不断提高。而基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、非接触式的新型传感器,   目前精度上可达nm量级。共焦测量术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势,迅速成为工业测量的热门传感器,在生物医学、...
2022-12-29
摘要:介绍了激光三角法测量原理和分类,对不同类型进行了分析比较。介绍了CCD的激光三角法高度测量系统在光刻机中的应用及在高度测量时实时和映射两种工作模式。在应用中可以针对不同的测量对象表面的光学特征,使用对应的表格,提高其测量的适应性和测量效率。关键词:光刻;CCD图像传感器;激光三角法 光刻工艺一直以来都是半导体生产中的关键工艺,是微细加工的中心环节之一。现在的光刻工艺已经从早期的微米级发...
2022-04-06
现代技术对芯片功能的需求不断提高,通过缩小晶体管尺寸来提高性能的方式却愈发困难,因此集成电路技术逐渐由2D平面向3D集成方向发展。在3D集成技术中,晶圆级键合是实现该技术中最为重要的一个环节。在两片晶圆键合之前,需要对晶圆上的电路进行精确对准,一旦发生图案错位将导致键合后线路串行和短路等问题。而且,随着半导体工艺的发展和进步,刻线精度越来越高,晶圆上的电路图案不断缩小,因此对晶圆对准精度的要...
2022-01-04
芯片倒装键合技术是一种在裸片电极上制备连接凸点,将芯片电极面朝下经钎焊、热压等工艺将凸点和封装基板互连的方法。与引线键合技术相比,倒装键合具有精度高、形成的混合集成芯片占用体积小、I/O密度高、互连线短、引线寄生参数小等优点,因此倒装键合技术已经成为当今芯片封装领域的主流技术之一。 对于现有技术中已经研发的一些倒装键合设备,例如中南大学研制的热超声倒装芯片键合机,其最大凸点数为40,键合压力...
2021-12-31
在三维芯片(3D-IC)的生产研发过程中,需要对不同工艺和条件下制备得到的控片或者后段制程(BEOL)的晶圆中的膜层结合力(或称“键合强度”,bonding strength)进行评估,这对工艺制程调整和最终产品抗失效能力的确定有着十分重要的意义。 目前,对多层薄膜的膜层间键合强度的评估方法主要包括双悬臂梁拉伸法(DCB)和划痕法(Scratch)等方法。其中,双悬臂梁拉伸法是一种宏观的键合...
2021-12-31
三维芯片(3D-IC)在晶圆生产、封装和使用过程中会遇到复杂的应力状态,如残余应力、热加工产生的热应力、化学机械抛光(CMP)过程中的剪切力、划片工艺对边缘冲击力、硅基底减薄过程中的弯曲应力等。这些潜在的失效场景都要求芯片中各膜层之间具有优良的结合力,因此有必要对晶圆的键合界面结合强度进行评估,这对工艺制程和最终产品稳定工作有重要意义。 目前,半导体芯片的膜层间结合力鉴定方法主要包括双悬臂梁...
2021-12-31
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0 引言光谱共焦位移传感器是一种高精度的测量设备,被广泛应用于各类隔膜材料的测量,如电池隔膜、光学膜等。本文将介绍光谱共焦位移传感器隔膜厚度测量的原理、方法和应用。1、原理光谱共焦位移传感器的工作原理主要基于光学共焦原理和光谱技术。传感器由光源、光导纤维、光谱仪、探测器等组成。当光线通过光导纤维射向被测隔膜表面时,会发生反射和透射。反射光通过另一个光导纤维传输到光谱仪中,透射光则直接传输到探...
2023-11-03
1、引言随着电动汽车市场的不断扩大,锂电池需求量不断增加。在锂电池生产过程中,极片厚度是影响电池性能和安全性的重要因素之一。因此,对锂电池极片进行精确的测厚是生产过程中的关键环节。近年来,激光位移传感器作为一种高精度的测量设备,在锂电池极片测厚中得到了广泛应用。本文将介绍激光位移传感器的工作原理、应用场景、测量方法、实验结果及在锂电池极片测厚中的应用前景。2、原理激光位移传感器是一种基于光学...
2023-09-25
摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势,迅速成为工业测量的热门传感器,在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C10000光谱共焦传感器和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复...
2023-01-29
采用TS-LTP系列激光位移传感器测量太阳能基板的厚度和平整度。【行业应用】新能源行业-光伏晶硅片平整度厚度检测采用TS-LTP系列激光位移传感器用于太阳能电池板的抗风压变形测试设备上,检测太阳能电池板的变形程度。【行业应用】新能源行业-光伏电池板抗风压变形测试采用TS-LTP系列激光位移传感器测量光伏面板的组装精度。【行业应用】新能源行业-光伏电池板组装精度测量检测分切金属箔时产生的起伏。...
2022-08-05
摘要:提出一种激光三角法溢油油膜厚度测量方法与海上应用采样池结构设计,针对石油与柴油搭建光学实验平台进行了油膜厚度测量实验,获得了油膜厚度信息。这种非接触测量方法具有原理简单、测量方便、成本低、精度高等特点,对实现水溶液表面油膜厚度的动态在线测量有重要意义。 关键词:三角法;溢油油膜;厚度测量 1     引言海洋溢油污染多为事故引起,是海洋污染中影响范围最广,危害时间最长,对生态环境破坏最...
2022-04-20
TS-LTP系列激光位移传感器系列具备亚微米级测量精度,可用于电池薄膜生产线轮廓厚度的在线监测,横向布置多台传感器,可通过更小的间距对厚度进行管理。
2021-07-09
检测分切金属箔时产生的起伏。通过具备70kHz高速测量能力的TS-LTP系列激光位移传感器,可精准捕捉高速通过的箔纸端面形状。
2021-07-09
采用TS-LTP系列激光位移传感器用于太阳能电池板的抗风压变形测试设备上,检测太阳能电池板的变形程度。
2021-07-09
采用TS-LTP系列激光位移传感器测量光伏面板的组装精度。
2021-07-09
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摘要:为了解决龙门吊大车运行偏差问题,本文选取激光位移传感器作为纠偏工具,依据位移传感器作业原理,分别设计信息采集与纠偏控制方案。实践应用结果表明,位移传感器纠偏控制机械设备符合国家起重机建造规范,能够及时调节柔腿侧和刚腿侧运行速度,使其达到同步状态。0 引言在经济迅速发展的时代背景下,船舶工业开启了新的发展篇章,龙门吊设备逐渐向智能化方向发展。传统的手动纠偏耗费了大量人力资源,操控偏差较大...
2024-01-06
摘 要:介绍了国内外关于轮对几何参数测量的概况,给出了激光位移传感器扫描测量轮辋尺寸的方案,并进行了试验研究。目前,在货车轮对的段修线上,用第四种检查器测量轮辋参数;用专用量具检测车轮直径和轮对内侧距。测量时,先将结果用粉笔记在轮对上,再抄录在车统一51C卡片上,最后由人工录入微机,测量方式中间环节多,实测结果人为误差大。随着列车提速,车轮踏面和轮缘磨耗日益加剧,及时准确检测轮对的几何参数十...
2023-12-29
摘要:针对车桥减速器桥壳轴承孔的同轴度检测问题,设计了一种基于二维激光位移传感器的同轴度检测装置。该装置通过二维激光位移传感器在孔内旋转一周进行测量数据采集,并利用编码器实现了采集过程的闭环控制,采用该装置可提高数据采集效率。为了进行同轴度计算,提出一种针对三维点云数据的最小二乘迭代法。首先,将采集到的角度、径向距离转换成三维坐标的点云数据形式。接着,以残差最小为优化目标,利用高斯一牛顿迭代...
2023-12-19
摘要:阐述了PSD与基于激光三角原理的激光位移检测系统的工作原理,探讨了将PSD和激光位移测量技术运用于货车轮对尺寸动态检测的可行性,在此基础上介绍了轮对尺寸动态检测系统的构成、功能模块、自标定技术及网络接口等内容。关键词:PSD;激光位移测量;轮对尺寸;动态检测系统轮对是铁路车辆走行部的重要部件,轮对故障常常导致严重的安全事故,给铁路运输造成重大损失。轮对尺寸超限等故障不仅给铁路运输带来安...
2023-12-06
摘要:激光传感作为一种新型传感技术,能够通过非接触方式获取目标物形态特征。相比其它类型的传感器,该传感器具有精确度高、扫描速度快、分辨率高以及抗干扰能力强等特点。因此,该传感器已经被广泛用于农业应用研究。该研究从激光传感器的测距原理和在农业中的应用2个方面进行阐述。激光传感器的测距原理分为三角测距法、TOF法和干涉法。后2个方法的精度高,但对硬件设备的要求也相对较高,针对不同的应用场景选用合...
2022-06-17
摘要:目前国内汽车装车站主要通过人工引导实现待装车辆入位,无法一次精确到位的问题成为影响装车效率和装车精度的主要因素之一。针对上述问题,基于三角激光测距技术的基础,研究并设计了基于三角法的激光测距定位装置。实现了无需人工干预的车辆一次入位,通过毫米级别的装置精度实现了定位精度在0.01m,解决了现有因定位不准确而造成的洒煤问题,并且对装车设备及车辆起到了很好的保护作用,提高了装车精度和装车速...
2022-05-31
0   引言近年北京市轨道交通建设发展迅速,截止目前运营线路已达19条,为及时掌握高架线路运行状态,自2012年起北京地铁陆续在5号线、13号线、八通线、机场线、亦庄线、房山线、昌平线和15号线高架线路上安装自动化监测系统,开展对桥梁梁体位移、裂缝、支座位移、梁体应力、挠度、环境温度和风力风向等参数的监测。位移是结构监测的重要参数之一,在进行位移传感器选型设计时,为避免接触式位移传感器存在的...
2022-03-11
激光三角位移传感器被用于测量铁路转向架轮相对于轨头的横向位置,这是位于德比的公司 SET Limited 的开创性铁路牵引技术项目。 ActiWheel 是一种创新的牵引系统,它使用人工智能来引导火车沿轨道行驶,从而实现更快、更顺畅、更经济的铁路旅行。该解决方案可以极大地改变铁路车辆在铁路上的运行方式。正如 SET Limited 的总监 Martin Whitley 所解释的那样:“这种革...
2022-02-23
摘要:针对当前城轨车辆车轮踏面磨耗人工检测劳动强度高、检测精度低的问题,提出一种基于激光位移传感器的车轮踏面磨耗检测方法。首先在轨道外侧安装一组激光位移传感器进行车轮踏面数据采集;其次结合标准轮对踏面轮廓数据,采用数据预处理、坐标旋转、数据融合等算法获取实际车轮踏面轮廓线;最后根据踏面磨耗几何关系获得车轮踏面磨耗值。通过踏面磨耗检测误差分析以及现场标准轮对实验和过车实验表明,所提方法检测精度...
2021-10-08
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光谱共焦测量技术由于其具有测量精度高、测量速度快、可以实现非接触测量的独特优势而被广泛应用于工业级测量。今天让我们先来看一下光谱共焦技术的起源和光谱共焦技术在精密几何量计量测试中的成熟典型应用。共焦显微术的概念首先是由美国的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建第一台共焦显微镜, 并于1957年申请了专利。自20世纪90年代,   随着计算机技术的飞速发展,   共焦显微术...
2022-09-16
主要是对光谱共焦传感器的校准后的误差进行分析。各自利用干涉仪与高精密测长机对光谱共焦传感器开展测量,用曲面测针确保光谱共焦传感器的激光光路坐落于测针核心,以确保光谱共焦传感器在测量时安装 精密度,随后拆换平面图歪头,对光谱共  焦传感器开展校准。用最小二乘法对测量数据进行解决,获得测量数据库的离散系统误差。结果显示:高精密测长机校准后的离散系统误差为 0.030%,激光器于涉仪校准时的分析线...
2022-08-12
光谱共焦位移传感器是一种基于光波长偏移调制的非接触式位移传感器。它也是一种新型极高精密度、极高可靠性的光学位移传感器,近些年对迅速、精确的非接触式测量变得更加关键。光谱共焦位移传感器不但可以精确测量偏移,还可用作圆直径的精确测量,及其塑料薄膜的折光率和厚度的精确测量,在电子光学计量检定、光化学反应、生物医学工程电子光学等领域具备广泛应用市场前景。光谱共焦位移传感器的诞生归功于共聚焦显微镜研究...
2022-08-16
近年来,随着科技的不断进步和发展,许多新技术在各个领域得到了广泛的应用。作为其中的一种,白光干涉技术在薄膜厚度测量领域中表现出了突出的优势。创视智能品牌的TS-IT50探头则是在这一领域中的杰出代表。白光干涉技术是一种基于干涉原理的测量方法。它通过将光束分成两部分,让其中一部分经过待测物体后再与另一部分光束合并,从而通过干涉条纹的形成来测量待测物体的表面高度或者厚度。与传统的单色干涉相比,白...
2023-11-17
摘要:详细阐述了白光干涉仪的设计过程,该设计主要包括驱动电路、光电I-V转换以及电压放大3个模块。根据白光干涉的要求,其发射-接收机采用直流驱动,探测器高频响应的工作方式。但光源驱动电路的稳定性和光电探测器与放大器的连接对设计结果都会有影响。测试结果表明:选择 LM317作稳压器,PIN 光电二极管作探测器,采用I-V 光电转换连接光电探测器与放大器的方式,可以满足设计要求。该干涉仪稳定性好...
2023-09-01
摘要:对激光三角测量法应用于表面形貌的检测进行研究( 通过分析激光三角测量的基本原理,得出光路设计条件与输入输出关系。分析了几种激光三角测量的改进方法的优点、局限与适用范围,讨论了激光三角测量中影响分辨率与精度的几个因素并提出应对的措施。关键词:激光三角测量;非接触测量;表面形貌在非接触三维形貌测量中,激光三角法由于结构简单、测量速度快、具有实时处理能力、使用灵活、适应力强,已在机器人视觉、...
2023-04-23
摘要:以点激光位移传感器为对象,研究它在自由曲面测量中的应用。针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差,提出了一个可以量化的倾角误差模型。基于直射式点激光三角法原理,分析了激光光路的几何关系,从会聚光斑光能质心发生的偏移推导出倾角误差模型。随后,用高精度激光干涉仪和正弦规对激光位移传感器进行校对实验,并用误差模型对测量结果进行补偿。结果显示,补偿后激光位移传感器的测量精度得到明显提高。对一...
2023-02-20
摘 要: 在中国制造 2025 的大背景下,随着智能制造与装备、高新精密加工及工业物联网技术的发展,对非接触精密测量的要求不断提高。激光三角测量法以其精度高、稳定性好、寿命长、响应速度快等优势,被广泛应用于各个不同的测量场景。针对激光三角测量技术展开调研,介绍激光三角测量技术的原理及关键技术。详述激光三角测量技术在工业生产、航天军工、生物医学等诸多领域的应用,重点涉及高精度、高速度、复杂物面...
2022-11-16
摘要:光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来,其无需轴向扫描,直接由波长对应轴向距离信息,从而大幅提高测量速度。而基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、非接触式的新型传感器,精度理论上可达 nm 量级。由于光谱共焦传感器对被测表面状况要求低,允许被测表面有更大的倾斜角,测量速度快,实时性高,迅速成为工业测量的热门传感器,广泛应用于精密定位、薄膜厚度测量、微观轮廓精密测量等领域。...
2022-10-19
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