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摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C4000F光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精...
2023-11-21
与球面光学元件相比，非球面光学元件在实际应用中具有很多优势，不仅可以简化系统形状和降低系统成本，而且能够减小系统像差，从而提高光学系统成像质量。非球面技术已成为现代光学系统设计的一个重要特征，广泛应用于国防、空间科学、天文学和重要工业领域。它已经成为光学成像领域发展的重点，并对非球面的超高精度加工和检测精度提出了更高的要求。加工-测量-再加工-再测量是非球面加工的必要过程。非球面透镜的高精度...
2023-02-22
导读风洞测试中对机翼翼型的二维测量，是众多空气动力学应用中模型预测的关键技术。这类测试中，一般需要测量翼型在不同的受风角度下的受力和俯仰力矩，受风角度（攻角）的细微变化能够造成力和力矩的大幅变动，因此，对攻角的精确测量是这类测试中的主要技术需求。本研究在风洞中采用了多个激光位移传感器，通过测量风洞壁与机翼之间的距离来精确计算模型的位置。测量结果表明了该技术能够测得以往无法得到的模型变形和偏转...
2021-12-10
摘要:管道是气体和液体传输的重要手段,管道内表面的检测对于工业和国防中管道泄漏事故的预防,减少环境污染和经济损失非常重要。随着电子和半导体技术的发展,光电器件逐步趋于小型化。介绍了基于激光阵列、PSD光电检测、光环截面以及结构光检测等光电检测方法的测量原理和系统构成,并在此基础上对不同光电检测方法的优缺点进行了分析和比较。分析结果表明:光电检测技术适用于管道内表面检测;并朝着快速识别缺陷、管...
2021-11-15
提要：介绍了工程中用激光光学方法检测柱状结构内尺寸参数的新进展。对各种方法的适用场合和精度作了分析比较。并提出了一种检测高精度航空航天器MJ内螺纹的新型激光光纤传感器的设计思想及检测原理。 关键词：内尺寸，激光，光学检测，光纤传感器 对柱状内尺寸的检测(如管道、盲孔、内螺纹等),由于内部空间的限制,需要对测量头的结构大小提出严格的要求,还需要系统有较高的对中定位精度。尤其是对微小内尺寸的检测...
2021-11-12
图4靶丸内外表面轮廓的白光共焦光谱测量曲线4．2内表面轮廓测量数据的可靠性验证图5靶丸外表面轮廓(a)及其功率谱曲线(b)采用对比测试方法，首先对基于白光共焦光谱技术的靶丸外表面轮廓测量精度进行了考核，图5(a)是靶丸外表面轮廓的原子力显微镜轮廓仪和白光共焦光谱轮廓仪的测量曲线。
2021-11-08
摘要：圆筒内壁的圆度检测工作环境恶劣,检测要求严格,目前缺乏合适的解决方案。因此对其研究将促进圆筒内壁圆度误差检测的机械化自动化水平,提高产品质量,降低生产成本,加快生产速度,系统采用改进的激光三角测距法作为测量方法,既能在高温环境下工作,又可对小径圆筒进行测量。而机器视觉是用机器代替人眼来做测量和判断,测量精度高、速度快。将二者相结合,可有效解决圆筒内壁高质量、高速度的在线检测难题。 关键...
2021-11-05
摘要：介绍了光谱共焦位移传感器的结构与原理，及其在测量厚度方面的应用，重点讨论了光谱共焦位移传感器用于测量透明材料平行平板厚度的可行性，对其产生的误差进行了详细的分析，并给出了相应的补偿方法。 关键词：光谱共焦；位移传感器；色散系数 1 引 言目前，非接触式的精密测量位移装置有共焦位移传感器，激光三角反射式位移传感器、电容式传感器、电感式传感器等。它们具有适应性强、速度快、精...
2021-10-27
[摘要]基于光谱共焦测量技术搭建了叶尖间隙模拟测试平台，将模拟叶盘安装在气浮主轴上，并应用光谱共焦位移传感器实现了叶尖端面的位移变化量的测量，以表征叶尖间隙的变化，分别模拟了叶尖间隙的单次测量和连续测量过程。实验结果表明，应用光谱共焦位移传感器可以完成发动机转子叶尖间隙的测量，而且能够达到很高的测量效率和精度，可以应用于实际的测量现场。 [关键词]叶尖间隙；非接触；光谱共焦；测量 引言随着科...
2021-10-22
摘要：本期应用案例为采用创视智能激光位移传感器测量螺旋齿轮深度。螺纹的加工精度、牙型完整性、螺距公差以及螺纹表面质量等因素，都会影响螺纹连接的紧密程度和承载能力。例如，在汽车发动机的装配中，如果螺纹存在缺陷，可能导致零部件松动，引发发动机故障，甚至危及行车安全；在航空航天领域，哪怕是微小的螺纹瑕疵，都可能在极端环境下引发严重后果，如飞行器结构解体。准确的螺纹检测能够确保零部件的互换性，降低废...
2025-02-19
摘要：本期应用案例为采用创视智能光谱共焦位移传感器测量圆环内径。圆环因其独特的几何特性，在汽车制造、精密加工、3C 电子及建筑材料等众多领域广泛应用。各领域对圆环尺寸要求各异，其中内径的精准度尤为关键。在汽车制造中，精确测量轴承内径，能保证轴承与轴紧密配合，确保活塞环安装无误；在管道工程里，可实现管道连接紧密、管件适配精准，有效防止泄漏等问题，从而保障产品在不同场景下的性能稳定与安全可靠，满...
2025-02-19
摘要：本期应用案例为采用创视智能光谱共焦位移传感器对陶瓷片厚度的测量。陶瓷制品在各个领域都有广泛的应用，如电子、化工、建筑等。不同应用场景对陶瓷制品的性能要求各不相同，其中厚度是一个重要的考虑因素。通过精确测量陶瓷片的厚度，可以确保产品满足特定应用场景的需求，如高温环境下的稳定性、绝缘性能等。通过创视智能光谱共焦位移传感器的高精度测量，可以确保陶瓷片的厚度达到既定的标准，避免因厚度不均或偏差...
2024-12-18
摘要：本期应用案例为采用创视智能激光三角位移传感器对橡胶片厚度的测量。橡胶厚度是影响橡胶的使用寿命和性能的表现，厚度是橡胶质量评估的重要指标之一。通过检测厚度，可以判断橡胶制品的制造工艺是否符合标准，以及是否满足设计要求。因此，在橡胶制品的生产过程中，对橡胶厚度的检测是至关重要的环节。在橡胶制品的生产过程中，需要对橡胶的厚度进行精确控制，以确保产品质量。创视智能激光位移传感器具有较高的适应性...
2024-11-29
摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言上期文章介绍测量双凹透镜的重复性，本次测量弯月透镜的重复性，因为镜片的材质形状厚度不一样验证探头是否能有效稳定的测量。测量要求和方法跟测...
2024-05-15
摘要：激光三角测距器作为一种非接触、高精度的检测仪器，其工作环境、安装方式、测量条件等因素对测量精度的影响限制了其在石油管螺纹测量领域的应用。针对这一问题，本文结合实际螺纹测量情况，通过大量实验探究滤波方式、测距器移动速度、方向、反射镜面积等因素对测量数据廓型的影响，分析产生误差的机理，并确定出合理的测量方案，为螺纹在机测量系统的设计提供了理论和实验依据。关键词：螺纹检测；激光三角测距器；测...
2024-04-03
摘要：圆锥螺纹作为一种连接紧密，气密性良好的连接螺纹，其具有装配容易，能得到过盈配合，保证良好密封效果的优点。随着其设计和加工水平的提高，对锥螺纹测量的准确度也提出了更高的要求，激光测量保证锥螺纹的轴心与激光运行轨迹共面一直是测量的难点，本文对圆锥螺纹测量方法进行探究，设计了一种锥螺纹检测装置，可实现圆锥螺纹的准确定心并通过激光实现非接触检测，通过对测量结果进行分析拟合，与标准轮廓进行对比，...
2024-03-27
摘要：针对空间孔系的快速测量问题．提出了一种基于激光位移检测原理的解决方案．设计了一套空间异位孔的测量系统，构建了基于激光位移传感器的测量数学模型，采用改进的遗传算法快速拟合出空间孔的曲面轮廓。在比较测量的基础上．通过坐标变换获得零件上空间异位孔的位置与内径信息。通过搭建空间异位孔测量系统进行试验。验证该系统的可行性。关键词：空间孔系；快速测量；嵌入式Linux；遗传算法；激光三角法0 引言...
2024-03-07
摘要：激光三角法测量原理可有效应用于三维曲面的非接触精密测量，测量数据的统计处理结果直接关系到测量精度的提高，同时也与测量系统结构、被测物体特性及环境条件等因素有关。从激光三角法的测量机理出发，针对易拉罐罐盖开启口压痕残余厚度测量中影响测量的关键问题进行分析和研究，包括激光光点尺寸、激光散斑、精细结构、被测物体表面的光泽、颜色等，其中前三个问题对测量精度的影响最为突出，通过理论分析和研究，初...
2024-02-02
一、 行业难题在电子产品的生产制造中，PCB板是电子元器件的支撑体和电气连接的关键，其质量直接影响产品性能。由于PCB板厚度极薄，在机台上容易出现重叠问题，从而导致废料的产生。结合机台运动时存在抖动的情况，传统的检测方法无法准确、稳定地检测出PCB板的多层重叠，进而影响企业的生产效率和产品质量。二、 检测需求检测项目：激光位移传感器用于PCB板重叠检测工件厚度：6mm精度要求：0.05mm探...
2025-04-25
摘要：基于PSD(Position sensing device-位置敏感传感器)和激光三角法检测感应式电能表转盘的跳动误差是一种可用在电能表生产企业进行非接触、高精度、自动测量的新方法。本文重点阐述了转盘跳动测量的原理，并对其测量过程进行了分析，对影响测量精度的因素做了讨论。同时给出了测量仪器的软、硬件设计框图。并结合实际应用，介绍了该测量仪器在测量过程中的定标和定位方法。关键词：PSD；...
2024-04-15
摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C10000光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精...
2023-11-10
一、引言玻璃基板翘曲测量在光学、微电子、平面显示等领域具有重要应用价值。翘曲度是衡量玻璃基板质量的关键指标之一，对于保证产品的稳定性和可靠性至关重要。激光位移传感器作为一种非接触式测量技术，具有高精度、高速度和高效率等优势，在玻璃基板翘曲测量中具有广泛的应用前景。本文将介绍激光位移传感器测量玻璃基板翘曲的原理、实验方法和结果分析，以期为相关领域的研究提供有益参考。玻璃基板封装二、原理分析激光...
2023-11-03
光谱共焦是一种综合了光学成像和光谱分析技术的高精度位移传感器，在3C（计算机、通信和消费电子）电子行业中应用极为广泛。以下是光谱共焦传感器在3C电子行业中的应用场景：智能手机：光谱共焦传感器可以用于智能手机内线性马达的位移测量，通过实时监控和控制线性马达的位移，可大幅提高智能手机的定位功能和相机的成像精度。也能测量手机屏的曲面角度、厚度等平板电脑：平板电脑内各种移动结构部件的位移和振动检测是...
2023-06-21
摘 要 ：为了实现非接触方式测量冰箱压缩机结构变形与振动，用一套激光三角传感器搭建的位移测试系统。相比传统的千分表机械探头测试方法， 该激光位移测试系统有诸多优势，第一是非接触；第二是可以测试结构振动；第三是可以通过软件实时记录并分析数据。选取冰箱用往复式压缩机的缸盖与连杆大头位移、吸气阀片振动为验证对象，通过激光传感器测试系统、千分表、有限元仿真三种方法进行相互对比验证，结果显示三者数据基...
2022-11-30
摘要：在液晶玻璃生产过程中，采用激光测厚技术不仅可以大幅度提高玻璃基板品质厚度的测量频率，实现每片基板玻璃厚度一次测量；同时也能反映玻璃基板品质厚度实时的真实性，加快厚度异常对策效率，而且能有力的推动我国光电产业技术及玻璃基板品质的提升。以玻璃基板厚度为研究对象，对激光测厚系统在液晶玻璃基板中的应用进行分析。 关键词：液晶基板、玻璃厚度、激光测厚、品质提升 0 引言液晶玻璃基板品质管...
2022-04-14
摘要：介绍了光谱共焦位移传感器的结构与原理，及其在测量厚度方面的应用，重点讨论了光谱共焦位移传感器用于测量透明材料平行平板厚度的可行性，对其产生的误差进行了详细的分析，并给出了相应的补偿方法。关键词：光谱共焦；位移传感器；色散系数 1 引言目前，非接触式的精密测量位移装置有共焦位移传感器，激光三角法位移传感器、电容式传感器、电感式传感器等。它们具有适应性强、速度快、精度高等特点，适用于检...
2022-03-28
随着社会不断的发展，我们智能能设备的进化日新月异，人们已经越来越追求个性化。愈发复杂的形状意味着，对点胶设备提出更高的要求，需要应对更高的点胶精度!更灵活的点胶角度!TS-C系列光谱共焦位移传感器系列具备同轴高精度测量的特点，即使在狭窄空间，也不会产生光路干涉，能够准确测量手机结构件中胶粘剂的涂胶量目前手机中板和屏幕模组贴合时，需要在中板上面点一圈透明的UV胶，这种胶由于白色反光的原因，只能...
2022-03-16
摘要：分析现有的蜗轮蜗杆测量技术特点的基础上，提出一种基于激光位移传感器的蜗轮蜗杆非接触式测量方法与对应的齿廓形状、齿距偏差算法。构建蜗轮蜗杆综合测量装置，实现非接触 式数据的采集，通过建立蜗轮蜗杆的理想齿廓模型与采集点拟合的平滑曲线相对比分析，得到齿廓 形状和齿距偏差。该方法可以有效简化蜗轮蜗杆的测量过程并提高测量精度和效率。关键词：蜗杆蜗轮测量 激光位移传感器 偏差分析 非接触测量0 引...
2024-11-29
摘要：针对车桥减速器桥壳轴承孔的同轴度检测问题，设计了一种基于二维激光位移传感器的同轴度检测装置。该装置通过二维激光位移传感器在孔内旋转一周进行测量数据采集，并利用编码器实现了采集过程的闭环控制，采用该装置可提高数据采集效率。为了进行同轴度计算，提出一种针对三维点云数据的最小二乘迭代法。首先，将采集到的角度、径向距离转换成三维坐标的点云数据形式。接着，以残差最小为优化目标，利用高斯一牛顿迭代...
2023-12-19
摘要：本文在介绍激光位移传感器测距工作原理的基础上，详细介绍它在轮胎工业中的应用实例及影响测量精度工业现场的应用条件。关键词：激光位移传感器；轮胎参数；在线测量；1 引言随着对轮胎质量愈来愈严格的要求，轮胎制造厂家迫切需要采样速度快、测量距离远、重复精度高的测量传感器和检测装置，这些传感器和装置可以离线或在线测量，尽可能减少停机时间，提高生产效率并可以最大程度地避免错误判断的发生。苏州创视智...
2023-12-14
采用TS-LTP系列激光位移传感器在冲压前检测胚料的重叠，可有效预防金属模的破损。即使各批产品的表面状态不同，也可通过光量自动增益控制实现稳定检测。
2021-07-09
摘要：钢板的高精度自动测厚是提高轧钢质量的关键环节。针对传统射线测厚仪存在辐射、接触式测厚仪精度低的缺点，设计了采用激光来替代传统射线的非接触式在线测厚系统，提高了生产过程的安全性，同时提高了测量精度。首先介绍了激光位移传感器差动式测量方法，然后基于TMS320F2812核心芯片设计了测厚系统的硬件电路，最后进行了系统软件部分的设计，主要是TMS320F2812核心芯片对于采样数据的处理。实...
2024-06-03
摘要：介绍了白光光谱共焦进行表面光学定位的原理和同轴共轭对称的自支撑金属薄膜厚度测量系统，通过对标准台阶高度和标准量块厚度的测量试验，以及测量结果不确定度的分析，验证该薄膜厚度测量系统的准确性和可靠性，在300μm的厚度范围内系统相对测量不确定度达到0.99％，满足薄膜厚度高精度测量和量值溯源的技术要求。关键词：计量学；自支撑薄膜；光谱共焦；薄膜厚度1 概述近年来，随着我国半导体、电子、通讯...
2024-01-12
摘要：为了精确测量自支撑金属薄膜厚度及其厚度分布，提出了基于白光共焦光谱传感器的金属薄膜厚度测量技术。介绍了该技术的测量原理及系统结构，研究了系统的测量不确定度。利用相向对顶安装的白光共焦传感器组、精密位移平台并结合自制的薄膜厚度校准样品。实现了对厚度为10～100μm的自支撑金属薄膜的厚度及厚度分布的精确测量；通过研究系统的传感器测量不确定度、薄膜厚度校准样品不确定度、上下传感器安装误差及...
2023-12-11
摘要：为提高内径检测精度和效率，提出一种基于激光三角法测量原理的内径非接触精密测量方法，单次测量可实现多个径向方向半径的测量。根据此测量方法，构建数学模型，通过数学模型分析，在同等条件下比较单一方向和多方向的 测量误差。同时在最终测量精度一致的前提下，分析比较单一方向和多方向对定位误差的要求。结果证明增加测量单元的数量，可降低对系统装配和定位精度的要求，显著提高系统测量精度。关键词：多方向；...
2022-12-09
摘要：介绍了一种零件表面粗糙度的激光在线测量方法，该测量方法具有测量速度快且能够显示被测表面的具体形貌等优点，在测量中引入激光三角测量系统，用无衍射激光光束作光源，用高精度的摄像机作位移传感器，通过计算机数据处理得到表面粗糙度值，使表面粗糙度在线检测成为可能。关键词：表面粗糙度；He-Ne激光器；摄像机；激光三角法 1 引言表面粗糙度误差又称为微观几何形状误差，是机械零件的一个主要几...
2022-04-27
摘要：为了精确测量薄板类材料的厚度，分析了双光路激光三角法测厚原理，建立了一种单镜头激光三角法厚度测量系统。该系统以半导体激光器为光源，配以单镜头成像系统、图像采集与数据处理系统。描述了系统的检测原理、检测方法和实验装置，讨论了激光器光束轴心线与成像透镜光轴夹角与系统分辨率的关系，并基于最小二乘法拟合得出了光斑距离与被测物厚度的函数关系式，最后通过标定实验对系统精度进行了实验论证。结果表明，...
2022-03-30
摘要：设计了一套基于激光三角测量原理的锥管螺纹轮廓测量系统，以非接触扫描的测量方法实现螺纹轮廓的自动测量。系统以ＡＤｕＣ８４５单片机为核心，采用激光三角位移传感器、精密丝杠和编码器分别获取螺纹垂直（Ｙ轴）和水平（Ｘ轴）方向的原始数据，进而得到螺纹轮廓的坐标值。对数据进行相应的滤波和处理后综合得到螺纹轮廓，通过参数的算法模型得出螺纹的牙高、螺距和锥角等参数。关键词：激光三角法；锥管螺纹；轮廓测...
2022-03-24
导读激光金属沉积（LMD）增材制造过程中的沉积厚度对加工质量有明显的影响，本文采用了一种同轴激光三角法测量的方法实现了对沉积高度的在位测量。背景目前，增材制造在包括航天和生物医学的众多科研和工业领域得到广泛应用。其中一项技术，激光金属沉积（LMD）技术采用一束高能激光束，将同轴喷嘴中出射的金属粉末融化，沉积并实现层层堆叠则可以实现三维金属结构的制造。为了控制这个技术过程的生产质量，需要对激光...
2021-09-08
使用传统的X射线仪测量厚度时，测量值会因密度或组成的不同而发生变化。TS-LTP系列能可靠地同步测量不同的厚度，自动光量控制功能能够忽略表面颜色的变化而稳定的测量厚度。
2021-07-09
在封装厚度测量这一关键领域，新技术的应用宛如璀璨星辰，为精确测量带来了具有革命性意义的突破，其中彩色共焦方式更是脱颖而出，成为备受瞩目的焦点。彩色共焦（亦称为光谱共焦）有着独树一帜的优势，它对目标物的材质和颜色变化具有超强的抗干扰能力。在封装行业这个复杂多样的环境里，材料丰富繁杂，从普通的塑料到珍稀的特殊复合材料应有尽有，颜色更是五彩斑斓。然而，这种神奇的测量方式恰似拥有一双洞察一切的 “慧...
2024-11-29
摘要：本期应用案例为采用创视智能光谱共焦位移传感器对晶圆形貌进行扫描测量。在半导体制造进程中，晶圆的形貌对芯片的性能与可靠性起着至关重要的作用。通过对晶圆形貌的测量，能够实时监测晶圆在各个制造环节中的表面粗糙度、平整度以及厚度等参数，从而确保晶圆符合质量标准。一、晶圆形貌扫描测量方法：扫描前准备：准备一块晶圆、三维运动平台以及 TS-400 探头加控制器。连接与固定：将探头与控制器相连接，并...
2024-11-19
机械手在操作过程中，若其位置出现偏差，很有可能与晶圆载具内的晶圆发生碰撞。这种碰撞不仅会导致晶圆受损，影响产品质量，还可能造成生产设备的故障，给企业带来巨大的经济损失。因此，对机械手的位置进行定期检测显得尤为重要。TS-C 系列光谱共焦采用同轴测量原理，为机械手的位置检测提供了出色的解决方案。即使是面对结构复杂的装置，它也能轻松装设在其内部的狭小空间中。这一特性使得检测工作能够更加精准、全面...
2024-10-11
我们采用光谱共焦技术方式，以满足对树脂模具产品高速/高精度测量的需求。光谱共焦的优点在于能够避免目标物材质和颜色变化对测量结果的影响，从而保证测量结果的准确性。同时，还具有事先防止不良品流出的功能，能够有效提高产品质量。在实际应用中具有很广泛的适用性，可用于树脂模具的生产过程中的高度、形貌、段差等测量。通过采用光谱共焦测量技术，我们可以更好地提高产品的质量，并为树脂模具行业的发展做出贡献。有...
2024-10-11
摘要：为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量，对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件的特性，根据其柔软、透明的特征提出应用光干涉法和机械探针相结合的方法进行测量，同时阐明了使用此方法进行表面形貌测量的优点，并据此原理搭建了光学多探针表面形貌测量装置，光学测量部分采用白光干涉计，探针部分采用拥有 ８ 只球型探头的多点悬臂测量探针。然后应用此装置对标准刻槽试件和半透明光造型薄...
2024-02-21
摘要：光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C400光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精度，±...
2023-11-23
0 引言上篇介绍了太阳能光伏硅片厚度的测量方法，本次介绍硅片栅线的厚度测量方法我们还用创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器，TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，10kHz的测量速度，以及±60°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据...
2023-01-05
摘要：在中国制造 2025 的大背景下，随着智能制造与装备、高新精密加工及工业物联网技术的发展，对非接触精密测量的要求不断提高。而基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、非接触式的新型传感器, 目前精度上可达nm量级。共焦测量术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、...
2022-12-29
摘要：介绍了激光三角法测量原理和分类，对不同类型进行了分析比较。介绍了CCD的激光三角法高度测量系统在光刻机中的应用及在高度测量时实时和映射两种工作模式。在应用中可以针对不同的测量对象表面的光学特征，使用对应的表格，提高其测量的适应性和测量效率。关键词：光刻；CCD图像传感器；激光三角法 光刻工艺一直以来都是半导体生产中的关键工艺，是微细加工的中心环节之一。现在的光刻工艺已经从早期的微米级发...
2022-04-06
0 引言光谱共焦位移传感器是一种高精度的测量设备，被广泛应用于各类隔膜材料的测量，如电池隔膜、光学膜等。本文将介绍光谱共焦位移传感器隔膜厚度测量的原理、方法和应用。1、原理光谱共焦位移传感器的工作原理主要基于光学共焦原理和光谱技术。传感器由光源、光导纤维、光谱仪、探测器等组成。当光线通过光导纤维射向被测隔膜表面时，会发生反射和透射。反射光通过另一个光导纤维传输到光谱仪中，透射光则直接传输到探...
2023-11-03
1、引言随着电动汽车市场的不断扩大，锂电池需求量不断增加。在锂电池生产过程中，极片厚度是影响电池性能和安全性的重要因素之一。因此，对锂电池极片进行精确的测厚是生产过程中的关键环节。近年来，激光位移传感器作为一种高精度的测量设备，在锂电池极片测厚中得到了广泛应用。本文将介绍激光位移传感器的工作原理、应用场景、测量方法、实验结果及在锂电池极片测厚中的应用前景。2、原理激光位移传感器是一种基于光学...
2023-09-25
摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。0 引言本次测量场景使用的是创视智能TS-C10000光谱共焦传感器和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复...
2023-01-29
采用TS-LTP系列激光位移传感器测量太阳能基板的厚度和平整度。【行业应用】新能源行业-光伏晶硅片平整度厚度检测采用TS-LTP系列激光位移传感器用于太阳能电池板的抗风压变形测试设备上，检测太阳能电池板的变形程度。【行业应用】新能源行业-光伏电池板抗风压变形测试采用TS-LTP系列激光位移传感器测量光伏面板的组装精度。【行业应用】新能源行业-光伏电池板组装精度测量检测分切金属箔时产生的起伏。...
2022-08-05
摘要：提出一种激光三角法溢油油膜厚度测量方法与海上应用采样池结构设计，针对石油与柴油搭建光学实验平台进行了油膜厚度测量实验，获得了油膜厚度信息。这种非接触测量方法具有原理简单、测量方便、成本低、精度高等特点，对实现水溶液表面油膜厚度的动态在线测量有重要意义。 关键词：三角法；溢油油膜；厚度测量 1 引言海洋溢油污染多为事故引起，是海洋污染中影响范围最广，危害时间最长，对生态环境破坏最...
2022-04-20
TS-LTP系列激光位移传感器系列具备亚微米级测量精度，可用于电池薄膜生产线轮廓厚度的在线监测，横向布置多台传感器，可通过更小的间距对厚度进行管理。
2021-07-09
摘要:为提高轮对尺寸测量效率及精度，提出了一种基于2D激光位移传感器的轮对尺寸在线检测技术。将2D激光位移传感器布设在轨道两侧，对经过检测区域的车轮踏面进行动态扫描，然后对采集到的数据进行坐标变换、数据融合等处理，并对处理后的踏面数据进行四阶分段曲线拟合，以实现轮缘高、轮缘厚及轮径的准确计算。为验证系统的可行性，将系统安装在实际现场进行车轮轮对尺寸在线检测，并将系统测量结果与人工测量结果进行...
2021-09-30
摘要:传统基于图像处理的钢轨磨耗检测系统处理过程复杂、运算量大，难以满足实时检测的需求。为了解决以上问题，基于激光三角法构建了一种新的二维高精度钢轨磨耗检测系统。它采用光切法扫描钢轨轮廓，将直接采集到的轮廓坐标通过以太网传输到工控机上;通过对不同去噪方法的性能比较，最终采用基于灰色关联的中值滤波方法对初始轮廓数据进行预处理;采用基于最小二乘的高斯—牛顿非线性二次拟合来提取轨腰圆心特征点，通...
2021-09-28
摘要：钢轨磨耗对列车运行性能具有较大影响，为实现服役钢轨磨耗的高效检测，搭建了基于二维激光的钢轨磨耗非接触检测系统。文章针对二维激光检测数据，采用迭代最近点(ICP)算法，将不发生磨耗的钢轨轨腰和轨底上表面与标准钢轨廓形进行匹配。采用豪斯多夫距离方法，对匹配后的轨头廓形进行磨耗量评价，在此基础上，进行服役钢轨的可视化磨耗分析。实验结果表明，服役钢轨磨耗的二维激光检测方法精度高、可靠性强，能实...
2021-09-26
编者按：国内的路面损坏检测系统快速发展，并且已经进入商用化，成为路面损坏检测的主流设备。国内主要的研制单位有长安大学道路交通智能检测与装备工程技术研究中心、中公高科养护科技股份有限公司、武汉武大卓越科技有限责任公司等五六家。对于采用多点激光位移传感器检测车辙的方法，应增加横断面上的激光位移传感器数量，使其达到２０个以上，增加行驶方向上的纵向采样密度，使其达到采样间距小于０．２ｍ，通过三维数字...
2021-09-06
光谱共焦测量技术由于其具有测量精度高、测量速度快、可以实现非接触测量的独特优势而被广泛应用于工业级测量。今天让我们先来看一下光谱共焦技术的起源和光谱共焦技术在精密几何量计量测试中的成熟典型应用。共焦显微术的概念首先是由美国的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建第一台共焦显微镜, 并于1957年申请了专利。自20世纪90年代, 随着计算机技术的飞速发展, 共焦显微术...
2022-09-16
主要是对光谱共焦传感器的校准后的误差进行分析。各自利用干涉仪与高精密测长机对光谱共焦传感器开展测量，用曲面测针确保光谱共焦传感器的激光光路坐落于测针核心，以确保光谱共焦传感器在测量时安装 精密度，随后拆换平面图歪头，对光谱共 焦传感器开展校准。用最小二乘法对测量数据进行解决，获得测量数据库的离散系统误差。结果显示：高精密测长机校准后的离散系统误差为 0.030%，激光器于涉仪校准时的分析线...
2022-08-12
光谱共焦位移传感器是一种基于光波长偏移调制的非接触式位移传感器。它也是一种新型极高精密度、极高可靠性的光学位移传感器，近些年对迅速、精确的非接触式测量变得更加关键。光谱共焦位移传感器不但可以精确测量偏移，还可用作圆直径的精确测量，及其塑料薄膜的折光率和厚度的精确测量，在电子光学计量检定、光化学反应、生物医学工程电子光学等领域具备广泛应用市场前景。光谱共焦位移传感器的诞生归功于共聚焦显微镜研究...
2022-08-16
超薄晶圆因其在散热、电学性能和集成度等方面的显著优势，正成为先进封装技术的重要方向。然而，超薄晶圆在减薄过程中容易产生翘曲，这不仅影响后续工艺的良率，还可能直接导致芯片失效。因此，研究超薄晶圆的减薄工艺与翘曲控制技术，对于提升半导体制造效率和产品质量具有重要意义。超薄晶圆减薄工艺晶圆减薄工艺主要包括贴膜、研磨、清洗和检查四个步骤。贴膜是为了防止晶圆在减薄过程中弯曲或破裂，通常采用紫外线解胶型...
2025-07-08
在工业产品的生产与制造中，厚度测量如同一场无声博弈——既要精准捕捉被测样品的微小变化，又需避免对其产生任何干扰。为此，非接触式分光干涉测厚传感器油然而生。它通过光的干涉原理，将被测物体的厚度转化为可观测可读取的数字信号，无需物理接触便能穿透材料表面，从而完成对样品的高效检测。这种技术不仅消除了传统接触式测量中因探头磨损或表面污染导致的误差，更以毫秒级的响应速度和纳米级的分辨率，为半导体、航天...
2025-07-08
从高端的芯片光刻工艺，到工业常见的工件视觉检测环节，再到包括激光切割、激光熔覆打印、激光微纳加工、激光退火、激光焊接等激光加工领域，人类正在利用光学的各种特性来实现更精密更复杂的检测和加工要求。作为光学参数操控的主要部件，光学系统的数值孔径越大，整体设备能够检测或加工出的关键尺寸就越小，而随之而来的就是光学系统的景深变小，从而使检测或加工的质量对光学系统相对于工件的离焦量十分敏感。因此，精密...
2025-07-08
在现如今已有的制造业中，金属加工件的质量会对产品的可靠性和寿命产生一定的影响效果。其中，内壁段差作为关键的几何特征，就是一个对其产生影响的关键因素。对它的精度控制是否得当，会直接影响装配的密封性、流体动力学性能及其结构强度，所以来说至关重要。传统测量方法因效率低、易损伤工件等问题，难以满足高精度大批量生产需求。为此，光谱共焦位移传感器等非接触式测量技术的引入，为内壁段差测量提供了革新性解决方...
2025-07-08
在太阳能电池制造中，ITO薄膜作为透明导电层，其厚度直接影响太阳能电池的光电转换率和稳定性。随着光伏技术的发展，精准测量和优化ITO薄膜的厚度便成为了关键环节。干涉测厚传感器作为一种非接触式检测设备，通过光学干涉原理实现高精度测量，为ITO薄膜的工艺控制提供了重要支持。光学干涉法光学干涉法是当前主流的ITO薄膜厚度测量技术。其核心原理基于光在薄膜上下表面反射时产生的干涉效应，通过分析光的强度...
2025-07-08
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