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白光干涉测厚传感器
白光干涉测厚传感器IT50
白光干涉测厚传感器IT50
参考距离： 50mm
测量范围： ±2mm
测量角度： ±3°
光斑直径： 100μm
静态噪声*2： 1nm
线性误差： ＜±20nm
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