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TS-M30
线性误差: <±8μm
重复精度: 0.35μm
光斑直径: Φ35μm
测量范围: ±5mm
参考距离: 30mm
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TS-M50
线性误差: <±15μm
重复精度: 0.6μm
光斑直径: Φ45μm
测量范围: ±10mm
参考距离: 50mm
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TS-M85
线性误差: <±40μm
重复精度: 1.3μm
光斑直径: 约Φ60μm
测量范围: ±20mm
参考距离: 85mm
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TS-M150
线性误差: <±150μm
重复精度: 3.5μm
光斑直径: Φ120μm
测量范围: ±75mm
参考距离: 150mm
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TS-M250
线性误差: <±450μm
重复精度: 10μm
光斑直径: Φ180μm
测量范围: ±150mm
参考距离: 250mm
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TS-M400
线性误差: <±600μm
重复精度: 15μm
光斑直径: 约Φ250μm
测量范围: ±200mm
参考距离: 400mm
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TS-M800
线性误差: <±2000μm
重复精度: 45μm
光斑直径: 约Φ400μm
测量范围: ±500mm
参考距离: 800mm
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