创视智能

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TS-M30
参考距离: 30mm
测量范围: ±5mm
光斑直径: Φ35μm
静态噪声*2: 0.35μm
线性误差: <±8μm
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TS-M50
参考距离: 50mm
测量范围: ±10mm
光斑直径: Φ45μm
静态噪声*2: 0.6μm
线性误差: <±15μm
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TS-M85
参考距离: 85mm
测量范围: ±20mm
光斑直径: 约Φ60μm
静态噪声*2: 1.3μm
线性误差: <±40μm
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TS-M150
参考距离: 150mm
测量范围: ±75mm
光斑直径: Φ120μm
静态噪声*2: 3.5μm
线性误差: <±150μm
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TS-M250
参考距离: 250mm
测量范围: ±150mm
光斑直径: Φ180μm
静态噪声*2: 10μm
线性误差: <±450μm
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TS-M400
参考距离: 400mm
测量范围: ±200mm
光斑直径: 约Φ250μm
静态噪声*2: 15μm
线性误差: <±600μm
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TS-M800
参考距离: 800mm
测量范围: ±500mm
光斑直径: 约Φ400μm
静态噪声*2: 45μm
线性误差: <±2000μm
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