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【行业应用】掩膜高度控制与玻璃基板厚度测量

发表时间：2021-07-09 23:21

光谱共焦位移传感器测量到掩膜的距离并将其调整到最佳高度，然后在玻璃基板通过其上时测量厚度。

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