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创视智能

【行业应用】测量掩膜的移载挠曲量

发表时间：2021-07-09 23:22

通过TS-LTP系列激光位移传感器测量掩膜的距离，控制吸附机器人，以免在掩膜转移过程中损坏昂贵的掩膜。

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