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【行业应用】测量研磨板的厚度

发表时间：2021-07-09 23:23

每次使用研磨工序中的掩膜板后期表面都会产生磨损。传统机型通过对使用次数进行管理，实施定期更换。通过精密位移传感器TS-C系列光谱共焦传感器测量研磨板的厚度，可以准确把我最为适宜的更换时间。

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