【行业应用】测量目标材料的磨损形状

发表时间：2021-07-09 23:24

成膜工序中使用的目标材料每使用一次，其表面就会磨损一次。磨损状况会根据表面处理的种类和注入气体的条件不同而不同。因此，通过采用精密位移传感器TS-C系列光谱共焦位移传感器定期确认磨损量，可以准确把握适宜的更换时间。

分享到：

联系电话：13902964721 联系邮箱：service@tronsight.com 联系地址：江苏省苏州市吴中区珠江路888号