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【行业应用】测量目标材料的磨损形状

发表时间:2021-07-09 23:24







成膜工序中使用的目标材料每使用一次,其表面就会磨损一次。磨损状况会根据表面处理的种类和注入气体的条件不同而不同。因此,通过采用精密位移传感器TS-C系列光谱共焦位移传感器定期确认磨损量,可以准确把握适宜的更换时间。


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