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【行业应用】测量晶圆的平面度和厚度

发表时间：2021-07-09 23:25







精密位移传感器TS-C系列光谱共焦位移传感器非常适合用于反射率高的表面测量，可以用于机械臂上晶圆的平面度和厚度的测量。


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