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【行业应用】测量机械手位置及残留振动

发表时间:2021-07-09 23:26



传输晶圆及掩膜板等工件时必须需注意的是,必须精确测量机械手的高度和保证残余震动彻底终止(TS-LTP系列精密位移传感器),防止与晶圆和掩膜板造成干涉,避免在下一道工艺流程中发生设备常见故障和生产加工欠佳。


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