【行业应用】测量机械手位置及残留振动

发表时间：2021-07-09 23:26

传输晶圆及掩膜板等工件时必须需注意的是，必须精确测量机械手的高度和保证残余震动彻底终止（TS-LTP系列精密位移传感器），防止与晶圆和掩膜板造成干涉，避免在下一道工艺流程中发生设备常见故障和生产加工欠佳。

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