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【常见问题】位移传感器的选型实例

发表时间:2021-07-13 22:09

测量案例:

  • 测量目标物:太阳能电池用基板

  • 用途:测量厚度

  • 测量精度:读取精度以±20um判断公差

  • 测量范围:厚度的基准t=0.7mm。希望测量距离尽量远。

  • 测量速度:生产线速度为1m/s。希望以0.1mm间距进行测量。

  • 周围环境:空调设备完善的干净的环境。


确认规格:

  • 测量精度:

    • 表示精度的项目,有重复精度和线性精度2种。重复精度是指重复进行相同测量时的偏差。而先行精度是指与理想值得误差。两者数值越小,则表示精度越高。

    • 如果是创视智能TS-LTP30,则

      • 重复精度为0.3um.

      • 线性精度为±0.02% of F.S. = ±0.02% * 10mm = ±2um。

    • 可达到要求精度±20um的1/10,即2um。

  • 测量范围:

    • 表示测量范围的项目,有参考距离和测量范围2种。

    • 测量范围是指可测量的范围宽度。

    • 参考距离是指从测量部前面到测量范围中心位置的距离。

      • TS-LTP30的参考距离为30mm

      • TS-LTP30的测量范围为±5mm

    • 换言之,如果以传感器的前端为基准,则测量范围为25至35mm。

  • 测量速度:

    • 确认测量速度,进一步根据生产线速度算出测量间隔。

      • 测量速度:50kHz

      • 测量间隔:约(1000mm/s)/ 50kHz = 20 um

    • 可达到要求的0.1mm间距

  • 周围环境:

    • 在干净的环境下,仍需假设空调变动为5℃左右,并算出温度造成的漂移。

      • 温度特性:0.03% of F.S./℃ = 0.03% * 10 mm /℃ = 3 um/℃

      • 温度漂移:3 um/℃ * 5℃ = 15 um

    • 可知温度漂移引起的精度误差为15um,宜实施温度管理。

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