测量案例:
测量目标物:太阳能电池用基板
用途:测量厚度
测量精度:读取精度以±20um判断公差
测量范围:厚度的基准t=0.7mm。希望测量距离尽量远。
测量速度:生产线速度为1m/s。希望以0.1mm间距进行测量。
周围环境:空调设备完善的干净的环境。
确认规格:
测量精度:
表示精度的项目,有重复精度和线性精度2种。重复精度是指重复进行相同测量时的偏差。而先行精度是指与理想值得误差。两者数值越小,则表示精度越高。
如果是创视智能TS-LTP30,则
重复精度为0.3um.
线性精度为±0.02% of F.S. = ±0.02% * 10mm = ±2um。
可达到要求精度±20um的1/10,即2um。
测量范围:
表示测量范围的项目,有参考距离和测量范围2种。
测量范围是指可测量的范围宽度。
参考距离是指从测量部前面到测量范围中心位置的距离。
TS-LTP30的参考距离为30mm
TS-LTP30的测量范围为±5mm
换言之,如果以传感器的前端为基准,则测量范围为25至35mm。
测量速度:
确认测量速度,进一步根据生产线速度算出测量间隔。
测量速度:50kHz
测量间隔:约(1000mm/s)/ 50kHz = 20 um
可达到要求的0.1mm间距
周围环境:
在干净的环境下,仍需假设空调变动为5℃左右,并算出温度造成的漂移。
温度特性:0.03% of F.S./℃ = 0.03% * 10 mm /℃ = 3 um/℃
温度漂移:3 um/℃ * 5℃ = 15 um
可知温度漂移引起的精度误差为15um,宜实施温度管理。