对于使用激光位移传感器进行高精度测量时的精度，其中一个需要注意的要点是重复精度。
重复精度与再现性有所区别。
激光位移传感器的重复精度主要受以下几种因素影响：
平均值的数量
如果静止目标的重复精度低是因为表面的细微变化，则增加平均值的数量N可将变化程度减少为1/根号（N）。如果因为测量时间限制而无法增加平均值的数量，则可将该变化程度作为指标。
参考距离的差异
在测量距离较短（指标：50mm内）并使用三角测量法的位移传感器上，通常越靠近“参考距离”（光学系统在该距离上的性能最优），重复精度越高。
受光量
受光量不足会造成光电元件中的信噪比较低，重复精度也会大幅下降。
因此，对于激光位移传感器，最重要的一点是保证适度的受光量。以下是造成受光量不足的可能原因。
在透过小孔测量时，部分受光被小孔堵住，没有返回。
从较斜的角度测量反光强烈的目标。
空气波动的影响
在通常的环境下，温度的细微差异会造成空气对流。相同温度的空气形成一定体积的气团并缓慢流动。这就称为“空气波动”。热雾就是一个很好的视觉现像案例。
当气团穿过激光位移传感器的光轴时（无论是光轴的传输或返回部分），光束位置会发生轻微的偏离并造成测量值波动。波动的程度无规可循。工作距离越长，气团就越有可能穿过光轴。随着空气波动影响的加大，就很难达到标定重复精度指标。
通常情况下，符合规格的测量环境必须满足一定的条件：要求无人员进出且无温度变化。有以下两种方法可模拟这类环境。
预留一个尽可能狭窄和封闭的空间，将位移传感器和目标物放在该空间内进行测量。
强制送风（空气净化），如下图所示。
除重复精度之外，还有两个因素会影响到激光位移传感器的测量精度。
测量系统中的轻微振动向量。
如果测量值的波动大于位移传感器的重复精度，则原因可能时安装夹具的振动。如果位移传感器的测量方向并非水平，人员在地面上走动会造成轻微的振动并传递给安装夹具。通常认为就是这种振动源造成测量依次产生0.1um到数um的波动。
可以选择以下两种方式解决该问题：
使用低通滤波器功能；
使用一体式夹具固定传感器和工件。
关于输出/输出分辨力
可使用两种输出信号获取位移传感器的输出：数字信号和模拟电压或电流。当使用模拟电压或电流时，由于共态噪声，设备辐射噪声和电源噪声的影响，波动可能会加剧。
可采取以下三种措施解决该问题：
通过更改模拟定标为1mV制定更精细的测量值。
在用于处理模拟信号的设备上加入平均值和过滤功能。
使用更粗更短的电缆进行布线，使用双核心屏蔽电缆。
