非接触式测量仪一般具备2种类型的光点直径。分别为宽光点和小光点型。
宽光点直径测量的时椭圆内的平均高度,因此不易受目标物表面粗糙度误差的影响。但是,由于光点尺寸较大,不适用于测量形状微小部位。
另一方面,小光点型光点直径由于光点较小,虽然可在形状测量和微小部件测量中发挥效果,但也会同时跟踪表面粗糙度,因此与宽光点相比,更易受表面粗糙度误差的影响。