0 引言
本次测量场景用的是创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器,TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度,±0.02% of F.S.的线性精度,10kHz的测量速度,以及±60°的测量角度,能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。
1.光伏板硅片厚度测量方法
下期为大家讲解硅片的栅线厚度测量方法,有疑问的可以联系我们哦!