【行业应用】光谱共焦位移传感器测量光伏板硅片栅线厚度方法

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上篇介绍了太阳能光伏硅片厚度的测量方法，本次介绍硅片栅线的厚度测量方法我们还用创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器，TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，10kHz的测量速度，以及±60°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。

1.光伏板硅片栅线厚度测量方法

如下图所示测量结果数据对比最大误差区间为0.001μm左右。