【行业应用】激光三角位移工件的槽深测量方法

发表时间：2023-01-10 15:09作者：创视智能

前言：激光具有单向性好、亮度高、能量集中且稳定的特性，被广泛应用于精密测量领域。基于激光的非接触测量方法有干涉法、脉冲法、相位法和三角法。干涉法利用反射条纹的明暗变化测量距离，精度高( 可达nm量级) ，但仅适用于微距离测量。脉冲法对测量时技术及电子元器件要求较高，且测量误差较大( 精度m级) ，仅适用于大场景测量。相位法利用激光往返相位差计算测量距离，适用于中距离测量( 精度mm级) 。相较而言，三角法具有测量速度快、精度高( μm 级) 、稳定性好、成本低的特点，目前可以实现中、短距离的测量，应用场景更为广泛。本文介绍激光三角位移传感器测试精密五金行业工件的槽深。

1.不锈钢工件槽深的测量

我们采用的是创视智能TS-P系列激光三角位移传感器测量，能够实现0.05 µm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，160kHz的测量速度，支持485、模拟量、外部电平触发、USB、以太网、的数据传输接口，其中前三种可以直接从探头接出。产品被广泛应用于3C电子、半导体光伏、新能源、汽车制造、市政检测等行业。

1.2测量场景及方法

如上图所示被测不锈钢工件放置在二维运动平台上，使用TS-P30激光三角位移传感器进行移动扫描测量，TS-P30激光位移传感器参数：参考距离30mm、测量范围±5mm、线性误差<±2μm。测量值要求给定范围0.46±0.03mm内，我们抽样测量10个不锈钢工件槽深如下图。

1.3测量结果总结

10个抽样测量数据槽深平均值，如下图

创视智能TS-P30激光三角位移传感器还是能够达到给定的范围内0.46±0.03mm的要求。

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