摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。本次测量场景使用的是创视智能TS-C10000光谱共焦传感器和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，10kHz的测量速度，以及±60°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。光伏压延玻璃是用在太阳能光伏电池组件上的玻璃，是电池组件的正面。它能够保证较高的透光率使太阳能电池接受太阳光辐射而发电，又能给太阳能电池起到保护作用，延长寿命。
首先我们选择两块2.0mm和3.2mm的玻璃样品进行单测测厚如图1，要求精度保持在0.05mm范围内。可以透过相对光滑的一面，测得厚度数据，由于下面是带滚花的结构，不同位置厚度和反射效果差异很大，我们选取8个测量区域内信号较好的位置进行测量如图2，事先使用卡尺测量每个区域点的数据并记录下来。
我们将卡尺测量8个区域的数据和光谱共焦传感器探头测量8个区域的数据进行对比计算出差值。如下图通过数据对比分析，探头测量的两块玻璃的8个区域点差值都在0.05mm范围之内，创视智能TS-C10000探头满足精度保持在0.05mm的测量要求。
