【行业应用】光谱共焦测量离形膜厚度

摘要：光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。

0 引言

本次测量场景使用的是创视智能TS-C400光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，10kHz的采样速度，以及±65°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。

1 离形膜厚度测量方法：

准备工作：将光谱共焦位移传感器安装好，控制器器与电脑连接。打开数据采集软件，设置测试参数，例如采样频率、采样时间等。

测量需求：根据客户给的信息，离形膜厚度在25um左右，用C系列单侧测厚测出离形膜的厚度，误差要求在1μm以下。

测量方法：取薄膜四个点测出数据然后进行对比算出误差，由于薄膜比较大我们将薄膜剪成四小块进行测量。

2 测量结果分析：

总结：经过数据对比第一个点数值最大，第三个点数值最小，二四是一样的。误差在0.0008mm，我们的C400能满足此膜的测量要求。