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【行业应用】激光三角位移传感器测量工件锯齿波形曲线

发表时间:2023-11-23 16:28

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0 引言

激光具有单向性好、亮度高、能量集中且稳定的特性,被广泛应用于精密测量领域。基于激光的非接触测量方法有干涉法、脉冲法、相位法和三角法。干涉法利用反射条纹的明暗变化测量距离,精度高( 可达nm量级) ,但仅适用于微距离测量。脉冲法对测量时技术及电子元器件要求较高,且测量误差较大( 精度m级) ,仅适用于大场景测量。相位法利用激光往返相位差计算测量距离,适用于中距离测量( 精度mm级) 。相较而言,三角法具有测量速度快、精度高( μm 级) 、稳定性好、成本低的特点,目前可以实现中、短距离的测量,应用场景更为广泛。本文主要介绍激光三角位移传感器锯齿波形曲线测量。

1 测量工件的锯齿波形

测试要求:用P30稳定测量螺牙起伏曲线,测量说明:工件从侧面看有很多螺牙,角度较大,且表面是镜面的,有反光的特点

准备工作:螺旋工件,旋转平台,TS-P30探头,电脑。

测量方法:将工件置于旋转平台上,激光三角传感器沿轮齿方向倾斜安装,以避免轮齿遮挡回光,如下图:

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2 测试结果
取采样间隔为50μs,无滤波的参数设置下的整体波形曲线。如下图,侧面曲线由于镜面反射干扰会有一些噪点曲线
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局部放大曲线可以看到,波形底端(对应工件螺牙凹处)和顶端(对应工件螺牙凸起处)扫描结果较清晰
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总结:通过测试结果分析,TS-P30探头能够稳定测量螺牙起伏曲线。


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