【应用案列】光谱共焦扫描测量晶圆的形貌

一、晶圆形貌扫描测量方法：

1. 扫描前准备：准备一块晶圆、三维运动平台以及 TS-400 探头加控制器。
2. 连接与固定：将探头与控制器相连接，并把探头固定在三维运动平台上，再将晶圆放置于探头下方。
3. 距离调整：调整探头与晶圆表面的距离，使其处于探头量程范围的中心位置。接着打开上位机软件，配置传感器参数。
4. 平台参数设置：配置三维运动平台的参数，以确保扫描时探头的光点始终处于晶圆表面。
5. 开始扫描与记录数据：启动扫描程序，记录相关数据。
6. 数据分析：对记录的数据进行深入分析。