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光谱共焦位移传感器TS-C1200
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光谱共焦位移传感器TS-C2400
光谱共焦传感器TS-C2000
参考距离:50mm
测量范围:±1mm
光斑直径:Φ20μm
测量角度:±14°
静态噪声*2:85nm
线性误差:<±0.6μm
横向分辨率:10μm
外径*长度:φ34*90.7mm
重量:162g
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