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TS-C600

参考距离 6.5mm
测量范围 ±0.3 mm
重复精度 16 nm
线性误差 ＜±0.12μm
光斑类型/尺寸 Φ8μm / 16μm
测量角度 ±32.5°
重量 73g
温度特征 <0.03%  F.S./°C
最小可测厚度 5% of F.S.
外形尺寸 Φ20*110 mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件，C++及C#软件开发包
4006609896
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