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光谱共焦TS-C50000

 
参考距离:100mm
测量范围:±25mm
光斑直径:Φ25μm
测量角度:±9.5°
静态噪声*2:850nm
线性误差:<±5μm
横向分辨率:12.5μm
产品详情
参数说明
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