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光谱共焦TS-C50000

光谱共焦TS-C50000

 
参考距离：100mm
测量范围：±25mm
光斑直径：Φ25μm
测量角度：±9.5°
静态噪声*2：850nm
线性误差：＜±5μm
横向分辨率：12.5μm
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