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光谱共焦位移传感器TS-C10000
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光谱共焦传感器TS-C20000
光谱共焦传感器TS-C16000
参考距离:55mm
测量范围:±8mm
光斑直径:Φ15μm
测量角度:±15.3°
静态噪声*2:300nm
线性误差:<±2μm
横向分辨率:7.5μm
外径*长度:φ60*211 mm
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