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光谱共焦位移传感器TS-C4000F

 
参考距离:38mm
测量范围:±2mm
光斑直径:Φ16μm / 32μm / 256μm
测量角度:±21°
静态噪声*2:100nm
线性误差:<±0.8μm
产品详情
参数说明
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