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激光三角位移传感器TS-PD08(分体式)
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光谱共焦位移传感器TS-C10000
白光干涉薄膜测厚仪传感头IVP50
参考距离:50mm
测量范围:±2mm
光斑直径:100μm
测量角度:±3°
静态噪声*2:1nm
线性误差:<±20nm
4006609896
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