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光谱共焦TS-C2600

 
参考距离:15mm
测量范围:±1.3mm
光斑直径:Φ9μm
测量角度:±31°
静态噪声*2:50nm
线性误差:<±0.3μm
横向分辨率:4.5μm
外径*长度:φ36*97.9mm
产品详情
参数说明
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