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光谱共焦TS-CR1500

光谱共焦TS-CR1500

 
参考距离：5.75mm
测量范围：±0.75mm
光斑直径：Φ20μm
测量角度：±14°
静态噪声*2：80nm
线性误差：＜±0.3μm
横向分辨率：10μm
外径*长度：φ8*47.7 mm
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