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光谱共焦TS-CR1500

 
参考距离:5.75mm
测量范围:±0.75mm
光斑直径:Φ20μm
测量角度:±14°
静态噪声*2:80nm
线性误差:<±0.3μm
横向分辨率:10μm
外径*长度:φ8*47.7 mm
产品详情
参数说明
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