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抛光操作主要用于改善表面粗糙度而不显著改变表面形式。因此，获得的表面粗糙度的控制和预测是抛光加工主要关注的问题。为了预测和控制抛光工序的表面质量，既往研究提出了三种数字孪生建模的方法:1. 经验方法:它们是基于一个由实验结果最佳拟合的数学模型。例如，使用五轴铣床进行磨料帽侧面抛光的操作时通过实验测试，得到了通过优化抛光参数(主轴转速、进给速度、刀具轨迹形状、径向啮合和晶粒尺寸)来降低抛光成本...
具有复杂自由曲面的超精密光学越来越多地应用于航空、航天、生物、消费电子等领域。优异的轮廓精度和表面光洁度是自由曲面光学成像性能的重要保证，同时这也给制造带来了严峻的挑战，限制了其广泛的应用。砂轮的几何误差、安装误差、轮廓误差等重要误差源都会对加工表面的轮廓精度产生影响。利用在线测量的方法对轮廓线误差进行补偿是提高轮廓线精度的有效途径，另一方面自由曲面光学系统的测量在不能损伤被加工表面的同时，...
为了提高自由曲面等元件的加工质量，需要对制造过程中产生的误差进行评估，以便及时发现偏差，从而反馈给后续加工工序。特别是在不从机床上卸载工件的情况下进行的在位测量(OMM)，可以消除坐标损失带来的误差。近年来，采用激光位移传感器的激光三角测量OMM(LTOMM)，是机械探头之外新发展起来的在位测量技术。 来自南京航空航天大学机电工程学院的DaweiDing等人提出了一种LTOMM误差模型和一种...
在超高精密加工中，在线测量(OMM)系统是实现高效轮廓补偿和改善加工条件的有效装置。在此，我们报告了一个新的OMM系统与共焦彩色探针在五轴超高精密机床上构造使用实时位置捕获方法。使用个人计算机同步捕获探头和机床位置，以产生轮廓测量数据。长期和短期稳定性、微阶跃响应和重复性测试表明，该系统的精度约为±10 nm。使用参考球进行的轮廓测量试验表明，在±45◦的大倾角下，OMM系统的精度下降。然而...
摘要:为了实现50nm左右回转误差测量，设计了一种新型非接触式测量系统，该系统采用光谱共焦位移传感器，通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5nm，表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。 关键词:回转误差;光谱共焦位移传感器;反向法;非接触式;超精密回转轴系 0 引言空气静压主轴在超精密机床中有着越来越广泛的应用，是超精密机床的关...
摘要:为了提高加工检测效率，实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量，提出一种基于光谱共焦位移传感器在现场坐标测量平台上集成表面粗糙度测量的方法。搭建实验测量系统且在Lab VIEW平台上开发系统的硬件通讯控制模块，并配套了高斯轮廓滤波处理及表面粗糙度的评价环境，建立了非接触的表面粗糙度测量能力。对标准台阶、表面粗糙度标准样块和曲面轮廓样品进行了测量，实验结果表明:该测量系统具有较高的测量精度...
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