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摘要：设计了一套基于激光三角测量原理的锥管螺纹轮廓测量系统，以非接触扫描的测量方法实现螺纹轮廓的自动测量。系统以ＡＤｕＣ８４５单片机为核心，采用激光三角位移传感器、精密丝杠和编码器分别获取螺纹垂直（Ｙ轴）和水平（Ｘ轴）方向的原始数据，进而得到螺纹轮廓的坐标值。对数据进行相应的滤波和处理后综合得到螺纹轮廓，通过参数的算法模型得出螺纹的牙高、螺距和锥角等参数。关键词：激光三角法；锥管螺纹；轮廓测...
摘要：为了精确测量薄板类材料的厚度，分析了双光路激光三角法测厚原理，建立了一种单镜头激光三角法厚度测量系统。该系统以半导体激光器为光源，配以单镜头成像系统、图像采集与数据处理系统。描述了系统的检测原理、检测方法和实验装置，讨论了激光器光束轴心线与成像透镜光轴夹角与系统分辨率的关系，并基于最小二乘法拟合得出了光斑距离与被测物厚度的函数关系式，最后通过标定实验对系统精度进行了实验论证。结果表明，...
摘要：介绍了一种零件表面粗糙度的激光在线测量方法，该测量方法具有测量速度快且能够显示被测表面的具体形貌等优点，在测量中引入激光三角测量系统，用无衍射激光光束作光源，用高精度的摄像机作位移传感器，通过计算机数据处理得到表面粗糙度值，使表面粗糙度在线检测成为可能。关键词：表面粗糙度；He-Ne激光器；摄像机；激光三角法 1 引言表面粗糙度误差又称为微观几何形状误差，是机械零件的一个主要几...
摘要：为提高内径检测精度和效率，提出一种基于激光三角法测量原理的内径非接触精密测量方法，单次测量可实现多个径向方向半径的测量。根据此测量方法，构建数学模型，通过数学模型分析，在同等条件下比较单一方向和多方向的 测量误差。同时在最终测量精度一致的前提下，分析比较单一方向和多方向对定位误差的要求。结果证明增加测量单元的数量，可降低对系统装配和定位精度的要求，显著提高系统测量精度。关键词：多方向；...
摘要：为了精确测量自支撑金属薄膜厚度及其厚度分布，提出了基于白光共焦光谱传感器的金属薄膜厚度测量技术。介绍了该技术的测量原理及系统结构，研究了系统的测量不确定度。利用相向对顶安装的白光共焦传感器组、精密位移平台并结合自制的薄膜厚度校准样品。实现了对厚度为10～100μm的自支撑金属薄膜的厚度及厚度分布的精确测量；通过研究系统的传感器测量不确定度、薄膜厚度校准样品不确定度、上下传感器安装误差及...
摘要：介绍了白光光谱共焦进行表面光学定位的原理和同轴共轭对称的自支撑金属薄膜厚度测量系统，通过对标准台阶高度和标准量块厚度的测量试验，以及测量结果不确定度的分析，验证该薄膜厚度测量系统的准确性和可靠性，在300μm的厚度范围内系统相对测量不确定度达到0.99％，满足薄膜厚度高精度测量和量值溯源的技术要求。关键词：计量学；自支撑薄膜；光谱共焦；薄膜厚度1 概述近年来，随着我国半导体、电子、通讯...
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