【技术文章】光谱共焦传感器校准方法对比分析

主要是对光谱共焦传感器的校准后的误差进行分析。各自利用干涉仪与高精密测长机对光谱共焦传感器开展测量，用曲面测针确保光谱共焦传感器的激光光路坐落于测针核心，以确保光谱共焦传感器在测量时安装 精密度，随后拆换平面图歪头，对光谱共   焦传感器开展校准。用最小二乘法对测量数据进行解决，获得测量数据库的离散系统误差。结果显示：高精密测长机校准后的离散系统误差为 0.030%，激光器于涉仪校准时的分析线形误差为0.038%。利用最小二乘法开展数据处理方法及离散系统误差的计算 ，减少校准时产生的平行度误差及光谱共焦传感器的系统误差，提高对光谱共焦传感器的校准精密度。

关键字：计拭学；光谱共焦；非接触测拭；误差剖析；校准

光谱共焦传感器作为一种新型高精密传感器，其测 量精密度最高可达 土 0.02%。最开始产生在法国的，相较于光栅尺、容栅 或电感器电台广播、电感器差动变压器式偏移传感器，其在偏移测量方面的优势更加明显。现如今，因为光谱共焦传感器拥有高精密、非接触测最等优势，因而，其在几何量高精密测量层面的应用愈来愈普遍，如漫反射光及平面图反射面的偏移测量、平整度测量、塑料薄膜及透明材料薄厚测量、外表粗糙度测量等。

在偏移测量层面，自光谱共焦传感器面世至今，它基本功能就是测量偏移。马敬等对光谱共焦传感器的散射目镜进行分析，制定了散射目镜的构造，提升了光谱共焦传感器的各项特性；毕 超 等 利 用光谱共焦传感器完成了对飞机发动机电机转子叶子空隙的高精密、高效率的测量。在平整度测量层面，位恒政等对光谱共焦传感器的检测误差进行分析，在其中，对其平面图检测误差科学研究时，利用光谱共焦传感器对圆平晶的平整度开展测量，获得了平面图检测误差值。

在塑料薄膜及透明材料薄厚测量层面，朱万彬等阐述了光谱共焦传感器在测量全透明平板电脑的平整度时，由全透明平板电脑的折光率不同而引进的测量误差并进行补偿；曹太腾等基千三维数据精准测量的机器视觉技术，利用光谱共焦传感器对透明材料薄厚及弧形玻璃曲面薄厚进行检测。在外表粗糙度测量层面，沈雪琴等阐述了不一样测最方式测量外表粗糙度时优缺点，最终选择了根据光谱共焦传感器的测量方式并进行了有关试验，为外表粗糙度的高精密测量提供了一种新方法；林杰俊等利用光谱共焦法测量外表粗糙度样块的表面粗糙度，并阐述了其测最测量不确定度。

文中利用最小二乘法测算校准误差并进行了离散系统误差测算，减少光谱共焦传感器校准后的误差，并在不同精密度标准器下，探寻光谱共焦传感器的校准误差的变化情况，对今后对光谱共焦传感器的应用及科学研究拥有重要意义。

苏州市创视智能技术有限责任公司（下称：创视智能化），是一家潜心精密检测系统软件、高精密激光测距-偏移传感器产品研发、生产制造、市场销售及售后的研发技术驱动型公司，企业位于风景优美的苏州吴中科技创业园，由来自于世界各国一流高校的医生、研究生精英团队开创，企业已累计申请办理各种专利权十余项。公司秉承着“研发技术推动，运用需求导向，服务项目客户优先”原则，致力于成为有着“中华民族自有品牌”的“高精密测量权威专家”，愿同多方一道，创变世界各国高档仪表设备及高精密传感器的产业发展规划。

创视智能化现阶段推出了光谱共焦偏移传感器和激光器三角速度传感器2款产品系列，已与好几家高等院校及行业龙头企业创建战略伙伴关系，广泛用于学术科研、精密机械制造、3C电子器件、车辆、金属材料、半导体材料、新能源技术、市政检测领域等领域，顾客反响热烈，备受普遍五星好评。

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