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【行业应用】测量溅射靶的厚度
【行业应用】测量溅射靶的厚度
精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器的高动态范围光强调整能力，可实现高精度测量镜面溅射靶的厚度。
【行业应用】测量基座的摆动及离心率
【行业应用】测量基座的摆动及离心率
在旋转基座时采用非接触测量的方法，可以避免接触式传感器的压力而引起涂层的缺陷，用于测量基座的摆动及离心率。
【行业应用】测量目标材料的磨损形状
【行业应用】测量目标材料的磨损形状
成膜工序中使用的目标材料每使用一次，其表面就会磨损一次。磨损状况会根据表面处理的种类和注入气体的条件不同而不同。因此，通过采用精密位移传感器TS-C系列光谱共焦位移传感器定期确认磨损量，可以准确把握适宜的更换时间。
【行业应用】测量晶圆的平面度和厚度
【行业应用】测量晶圆的平面度和厚度
精密位移传感器TS-C系列光谱共焦位移传感器非常适合用于反射率高的表面测量，可以用于机械臂上晶圆的平面度和厚度的测量。
【行业应用】晶圆Z轴定位
【行业应用】晶圆Z轴定位
精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器在晶圆z轴定位中的应用，可以用于相机和切割片更准确地对焦，即使更换被测量仍然可以进行稳定的测量。
【行业应用】测量液晶玻璃厚度等参数
【行业应用】测量液晶玻璃厚度等参数
非接触型精密位移传感器TS-LTP系列可以用于测量液晶玻璃的厚度、平整度、翘曲和波纹度。
半导体行业
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