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【行业应用】加热器内托盘膨胀测量
【行业应用】加热器内托盘膨胀测量
采用TS-LTP系列激光位移传感器通过玻璃窗口来测量喷洒加热器内托盘的膨胀程度，即使内部是真空或高温等极限环境也可以测量。
【行业应用】掩膜高度控制与玻璃基板厚度测量
【行业应用】掩膜高度控制与玻璃基板厚度测量
光谱共焦位移传感器测量到掩膜的距离并将其调整到最佳高度，然后在玻璃基板通过其上时测量厚度。
【行业应用】测量掩膜的移载挠曲量
【行业应用】测量掩膜的移载挠曲量
通过TS-LTP系列激光位移传感器测量掩膜的距离，控制吸附机器人，以免在掩膜转移过程中损坏昂贵的掩膜。
【行业应用】测量硅衬底控制退火深度
【行业应用】测量硅衬底控制退火深度
TS-LTP系列激光位移传感器测量硅衬底并控制退火深度。
【行业应用】测量研磨板的厚度
【行业应用】测量研磨板的厚度
每次使用研磨工序中的掩膜板后期表面都会产生磨损。传统机型通过对使用次数进行管理，实施定期更换。通过精密位移传感器TS-C系列光谱共焦传感器测量研磨板的厚度，可以准确把我最为适宜的更换时间。
【行业应用】测量硅晶棒尺寸
【行业应用】测量硅晶棒尺寸
精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器的高动态范围光强调整能力，可以用于高反射率的晶体的测量。
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