【行业应用】光谱共焦测量电机震动频率

2023-11-10 10:05

摘要: 光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。

0 引言

本次测量场景使用的是创视智能TS-C10000光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，10kHz的采样速度，以及±65°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。

1、电机振动测量

准备工作：将光谱共焦位移传感器安装好，控制器器与电脑连接。打开数据采集软件，设置测试参数，例如采样频率、采样时间等开始测量：

测量需求：测量样品（电机）的振动频率和幅度

测量方法：找一个振动相对比较大的一个点，测试该点的振动频率和幅度。为了数据准确我们将重复测量三次。