创视智能主编《薄膜干涉膜厚测量系统校准规范》正式实施，推动膜厚测量标准化发展

近日，团体标准《薄膜干涉膜厚测量系统校准规范》（T/CIET 2298-2026）正式实施。作为该标准的提出及主编单位，苏州创视智能技术有限公司凭借在光电精密测量传感领域的技术积累，主导了核心技术内容的制定。

随着产业对膜厚控制精度要求的不断提升，测量结果的可比性和量值溯源性成为行业关注的重点。该标准的落地实施，为相关设备建立了系统性的校准依据，也使创视智能在精密测量领域完成了从产品研发到标准制定的能力延伸。

薄膜干涉膜厚测量系统是一种利用薄膜干涉原理，通过分光探测技术获取薄膜光谱反射比或光谱透射比，从而得到被测薄膜厚度参数的仪器。

《薄膜干涉膜厚测量系统校准规范》适用于厚度测量范围为10nm-1mm的分光干涉式薄膜干涉膜厚测量系统，该标准根据干涉光谱的振荡周期完整性提出两种厚度解析方法，将薄膜干涉膜厚测量系统的工作波段分为三段、厚度测量范围分为四段，并针对不同的工作波段和厚度测量范围规定相应的技术要求，涵盖以下计量指标：

● 波长示值误差及波长重复性；

● 光谱带宽；

● 光谱反射（透射）比示值误差、重复性及稳定性；

● 厚度测量示值误差、重复性及稳定性。

标准不仅明确了不同波段、不同厚度范围下的计量指标，还对校准环境、测量标准及设备、测量流程、结果表达及复校时间间隔等进行了规定，并在附录中提供了不确定度评定示例及校准记录格式，使薄膜干涉膜厚测量系统的校准工作具备更加清晰的实施依据。

标准的制定需要扎实的工程实践作为支撑。作为专注于精密测量传感器研发、生产及销售的高新技术企业，创视智能长期深耕光电精密测量领域，在光谱测量、膜厚测量、光学信号处理及精密传感等方向持续开展研发，拥有光谱共焦位移传感器、激光三角位移传感器、白光/红外干涉测厚传感器等多条产品线，在测量精度、采样频率和环境适应性等关键指标上对标国际先进水平。

此次主编《薄膜干涉膜厚测量系统校准规范》，创视智能将长期积累的精密光学测量技术与实际应用经验融入标准体系，从测量原理、计量特性到校准方法等多个层面，为标准的科学性、规范性和工程应用价值提供技术支撑。

《薄膜干涉膜厚测量系统校准规范》的提出是创视智能在精密测量标准化领域的重要布局。

公司将继续围绕半导体、光通讯、新能源、消费电子及科研等领域的实际测量需求，深化光谱测量与精密传感技术研发，推动相关产品对标国际先进水平持续迭代，同时积极参与行业标准建设，以技术创新和标准建设双向驱动，为精密测量领域提供更高精度、更高可靠性的国产解决方案。