近日,来自韩国的朝鲜大学Hyo Mi Park等人在杂志“Applied Optics”上发文“Vision chromatic confocal sensor based on a geometrical phase lens”,提出一种基于几何相位超表面的光谱共焦位移传感器。 图1. 几何相位超透镜的工作原理几何相位透镜是一种通过操控入射光的偏振状态来实现光束聚焦的超透镜。如图1所示,当...
温度特性表示位移传感器温度变化1度时产生的测量值误差最大值。传感头内部使用镜头和CMOS以及固定他们的夹具。如果温度变化,会引起这些部件的膨胀收缩,导致在CMOS上的成像光点位置发生变化。这些都会成为导致误差的原因。温度特性规定为XX% of F.S./℃,F.S.表示测量范围。按照下例进行计算。温度特性越小的传感器,性能越好。例如:使用温度特性0.01% of F.S./℃,测量范围±3m...
线性精度为表示测量传感器性能的指标。表示理想值与实际测量结果之间误差的最大值。例如,使用线性精度为±5um的传感器,将目标物移动1mm时,所显示的值意味着可能包含±5um的误差(0.995mm至1.005mm)。线性精度的规格规定为±XX% of F.S., F.S.表示测量范围,线性精度越小的传感器,性能越好。例如,使用线性精度0.02% of F.S.,测量范围±3mm(F.S. = 6...