温度特性表示位移传感器温度变化1度时产生的测量值误差最大值。传感头内部使用镜头和CMOS以及固定他们的夹具。如果温度变化,会引起这些部件的膨胀收缩,导致在CMOS上的成像光点位置发生变化。这些都会成为导致误差的原因。温度特性规定为XX% of F.S./℃,F.S.表示测量范围。按照下例进行计算。温度特性越小的传感器,性能越好。例如:使用温度特性0.01% of F.S./℃,测量范围±3m...
线性精度为表示测量传感器性能的指标。表示理想值与实际测量结果之间误差的最大值。例如,使用线性精度为±5um的传感器,将目标物移动1mm时,所显示的值意味着可能包含±5um的误差(0.995mm至1.005mm)。线性精度的规格规定为±XX% of F.S., F.S.表示测量范围,线性精度越小的传感器,性能越好。例如,使用线性精度0.02% of F.S.,测量范围±3mm(F.S. = 6...