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TS-C1200

参考距离 20 mm
测量范围 ±0.6 mm
重复精度 30 nm
线性误差 ＜±0.24μm
光斑类型/尺寸 Φ9.5 μm / 19μm / 152μm
测量角度 ±32°
重量 182 g
温度特征 <0.03%  F.S./°C
最小可测厚度 5% of F.S.
外形尺寸 Φ36*106.3mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件，C++及C#软件开发包
4006609896
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