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TS-C2000

参考距离 50 mm
测量范围 ±1 mm
重复精度 85 nm
线性误差 ＜±0.6μm
光斑类型/尺寸 Φ20μm / 40μm
测量角度 ±14°
重量 162 g
温度特征 ≈0.1%  F.S./°C
最小可测厚度 10% of F.S.
外形尺寸 Φ34*90.7mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件，C++及C#软件开发包
4006609896
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