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TS-C2400

参考距离 9 mm
测量范围 ±1.2 mm
重复精度 45nm
线性误差 ＜±0.12μm
光斑类型/尺寸 Φ5.5μm / 11μm / 88μm
测量角度 ±60°
重量 2350g
温度特征 <0.03%  F.S./°C
最小可测厚度 5% of F.S.
外形尺寸 Φ94*267.5mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件，C++及C#软件开发包
4006609896
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