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TS-C6000

参考距离 40 mm
测量范围 ±3 mm
重复精度 140 nm
线性误差 ＜±0.72μm
光斑类型/尺寸 Φ22μm / 44μm / 352μm
测量角度 ±14°
重量 112 g
温度特征 ≈0.05%  F.S./°C
最小可测厚度 5% of F.S.
外形尺寸 Φ30*65.3 mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件，C++及C#软件开发包
4006609896
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