TS-C10000

参考距离 50mm
测量范围 ±5 mm
重复精度 250 nm
线性误差 <±1 μm
光斑类型/尺寸 Φ20μm / 40μm / 320μm
测量角度 ±13°
重量 203 g
温度特征 <0.03%  F.S./°C
最小可测厚度 5% of F.S.
外形尺寸 Φ36*84 mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件,C++及C#软件开发包
4006609896
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