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TS-C16000

参考距离 55mm
测量范围 ±8 mm
重复精度 300nm
线性误差 ＜±2 μm
光斑类型/尺寸 Φ15μm / 30μm / 240μm
测量角度 ±15.3°
重量 1180g
温度特征 <0.03%  F.S./°C
最小可测厚度 5% of F.S.
外形尺寸 Φ60*211.1 mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件，C++及C#软件开发包
4006609896
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