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TS-C20000

参考距离 60mm
测量范围 ±10 mm
重复精度 290nm
线性误差 ＜±2 μm
光斑类型/尺寸 Φ25μm / 50μm / 400μm
测量角度 ±10.5°
重量 310g
温度特征 <0.03%  F.S./°C
最小可测厚度 5% of F.S.
外形尺寸 Φ36*163 mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件，C++及C#软件开发包
4006609896
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