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TS-CR1500（轴向）

参考距离 3.92mm
测量范围 ±0.75 mm
重复精度 80 nm
线性误差 ＜±0.3 μm
光斑类型/尺寸 Φ20μm
测量角度 ±14°
重量 23g
温度特征 <0.03%  F.S./°C
最小可测厚度 10% of F.S.
外形尺寸 Φ8*68.8  mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件，C++及C#软件开发包
4006609896
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