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TS-CR5000（径向）

参考距离 12mm
测量范围 ±2.5 mm
重复精度 100nm
线性误差 ＜±1 μm
光斑类型/尺寸 Φ19μm
测量角度 ±13°
重量 37g
温度特征 <0.02%  F.S./°C
最小可测厚度 10% of F.S.
外形尺寸 Φ12*94.6mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件，C++及C#软件开发包
4006609896
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