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TS-RUVC-100

测厚范围 约20nm~50μm （折射率1.5时）
重复精度 0.05 nm
准确度（取较大值） ＜±1 nm 或 ±0.3%
重量 约 5000 g
采样频率 Max.100 Hz（视求解参数复杂度而定）
可接探头数 1
相对湿度 20 至 85% RH（无冷凝）
环境温度 -10 至 +40℃
电源电压 220V±20V 50Hz AC
测控软件 WLIStudio测控软件，WLI-SDK软件开发包
4006609896
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