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TS-C7000XS（尾部转折款）

参考距离 25mm
测量范围 ±3.5mm
重复精度 140nm
线性误差 ＜±0.5μm
光斑类型/尺寸 Φ17μm
测量角度 ±15°
重量 475 g
温度特征 <0.03%  F.S./°C
外形尺寸 Φ134*41*32mm
防护等级 IP67
测控软件 TSConfocalStudio测控软件，C++及C#软件开发包
4006609896
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