TS-CR10000(轴向)

参考距离 16.3mm
测量范围 ±5 mm
重复精度 284nm
线性误差 < ±1.6μm
光斑类型/尺寸 Φ30μm
测量角度 ±5.5°
重量 14g
温度特征 <0.03%  F.S./°C
外形尺寸 Φ8*56.8mm
防护等级 IP40
测控软件 TSConfocalStudio测控软件,C++及C#软件开发包
4006609896
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